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Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®



Ansprechpartner

Prof. Dr. Jens Müller

Institutsdirektor

Telefon +49 3677 69-3402

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INHALTE

Technologiezentrum

Den Mitgliedern des IMN MacroNano® sowie externen Nutzern stehen im Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien in den beiden Technologiegebäuden Meitnerbau und Feynmanbau insgesamt mehr als 1800m² modern ausgestattete Laborfläche als Reinräume und als staubkontrollierte Speziallabore zur Verfügung. Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologie ist eine zentrale Betriebseinheit und gehört zu den Technologischen Zentren der TU Ilmenau.

Reinräume:

  • 50m² Reinraumklasse 5 (nach DIN EN ISO 14644)
  • 250m² Reinraumklasse 6 (nach DIN EN ISO 14644)
  • 880m² Reinraumklasse 7 (nach DIN EN ISO 14644)

 Staubkontrollierte Speziallabore: 

  • Biologische Labore mit der Schutzklasse 1
  • Analytische Labore (teilweise störminimiert)
  • Labore für Laser- und Ultrapräzisionsbearbeitung
  • Labore für Leiterplattenfertigung und elektrochemische Prozesse