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Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen



Ansprechpartner

Prof. Dr.-Ing. habil. Eberhard Manske

Leiter des CC NPMM

Telefon +49-(0)3677-695051

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INHALTE

Einführung

Auf der Grundlage der Ergebnisse des SFB werden zum einen die metrologischen Grenzen für NPM-Maschinen bezüglich der Arbeitsbereiche bis 450 mm x 450 mm x 80 mm, der Messauflösung bis 0,01 nm und der Reproduzierbarkeit bis < 0,3 nm untersucht und zum anderen optimal angepasste metrologische Lösungen für variable Einsatzszenarien von NPM-Maschinen mit unterschiedlichen Sensor- und Antastsystemen erarbeitet.