Hauptnavigation


Hinweis: Diese Seiten sind nur noch bis Ende April 2012 online.

You are here:  Ausstattung Ausstattung I 

Rand

Inhalt

Ausstattung I

 

 

Molekularstrahlepitaxie (MBE)
Gerät:SSMBE-Anlage UMS 500 (Balzers AG)
>> Technische Daten

 

Augerelektronenspektroskopie (AES)
Gerät:
Augerelektronen Spektrometer Microlab 350
>> Technische Daten



 

 

Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD)
Gerät:
AIX 200 (Aixtron AG)
>> Technische Daten

 

Plasmaätzanlage
Gerät:
Multiplex ICP
>> Technische Daten



 

 

Elektronenstrahllithografie
Gerät:
Raith 150
>> Technische Daten

 

Röntgen-Diffraktometer (HXRD)
Gerät:
D8 DISCOVER Hochauflösungs-Röntgen-Diffraktometer
>> Technische Daten



 

 

UV-Vis-NIR Spektrophotometer
Gerät:
Varian Cary 5000e
>> Technische Daten

>> weiter zu Ausstattung II

 
Last update: March 05, 2010   Print page   © 2004-2012 Technische Universität Ilmenau