| 1955 | Gründung des "Institutes für allgemeine und optische Messtechnik" an der Fakultät für Feinmechanik und Optik
Institutsleiter: Prof. Dr. phil. Otto Dobenecker
Forschungsschwerpunkte: Feinmesstechnik
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| 1961 | Prof. Dr.-Ing. Paul Michelson wird Leiter des "Instituts für allgemeine und optische Messtechnik"
Forschungsschwerpunkte: Betriebsmesstechnik, elektrische Messung nichtelektrischer Größen
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| 1968 | Unter der Leitung von Prof. Michelson erfolgte die Eingliederung des Instituts als Fachbereich "Prozessmesstechnik" in die neu gegründete Sektion "Technische und Biomedizinische Kybernetik"
Forschungsschwerpunkte: durch Zusammenarbeit mit den anderen Fachbereichen der Sektion Integration der Informationsverarbeitung, der Computertechnik, der Schaltungstechnik sowie der Steuerungs- und Regelungstechnik
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| 1981 | Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Gerd Jäger übernimmt die Leitung des Fachbereichs, der aufgrund der Profilerweiterung die Bezeichnung "Prozessmess- und Sensortechnik" erhält
Forschungsschwerpunkte: Sensortechnik, Laser-Nanomesstechnik, Optoelektronik, Dynamische Kraft- und Temperaturmessung
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| 1988 | Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Rainer Grünwald wird zum außerordentlichen Professor berufen und arbeitet als Hochschullehrer am Wissenschaftsbereich Prozessmess- und Sensortechnik an der TH Ilmenau
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| 1990 | Gründung des "Instituts für Prozessmess- und Sensortechnik" an der "Fakultät für Informatik und Automatisierung"
Institutsleiter: Prof. Dr.-Ing. habil. Gerd Jäger
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| 1992 | Eingliederung des "Institutes für Prozessmess- und Sensortechnik " in die "Fakultät für Maschinenbau"
Institutsleiter: Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Gerd Jäger
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| 2002 | Bestätigung des Sonderforschungsbereichs 622 "Nanopositionier- und Nanomessmaschinen"
Initiator des SFB 622 und Sprecher bis Mai 2008: Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Gerd Jäger
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| 2008 | Berufung von Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Eberhard Manske für die Stiftungsprofessur "Präzisionsmesstechnik"
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| 2009 | Nach der Versetzung von Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Prof. h.c. Dr. h.c. mult. Gerd Jäger in den Ruhestand im März 2009 Übernahme der Institutsleitung durch Prof. Grünwald
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| 2009 | Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Thomas Fröhlich wird als Nachfolger von Prof. Jäger für das Fachgebiet Prozessmesstechnik berufen.
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