Vorlesender: PD Dr.-Ing. habil. Jörg Bischoff

Vorlesungstermin nach Vereinbarung

Zielgruppe: Graduierte Studenten (ab 5. Semester) und Dokotoranden der Fakuläten Maschinenbau, Elektrotechnik und Physik

Abschluss: Teinahmebestätigung / Prüfung (Technisches Wahlpflichtfach Fakultät Maschinenbau)

Inhalt:

Die Vorlesung wendet sich an graduierte Studenten (ab 5. Semester), Doktoranden und Postdoktoranden der Fakultäten Maschinenbau, Elektrotechnik und Physik. Sie vermittelt technologische Grundkenntnisse über moderne Strukturierungsverfahren der Mikro- und Nanotechnologie. Ziel der Vorlesung ist es, dem Hörer ein grundlegendes Verständnis moderner Mikro- und Nanostrukturierungs- Technologien zu vermitteln und ihn auf eine Tätigkeit in dieser hoch innovativen Industrie vorzubereiten. Zu diesem Zweck orientiert sich der Lehrinhalt an den allerneuesten Entwicklungen und Trends auf diesem Gebiet und wird daher regelmässig aktualisiert.

Vorlesungsfolien im PDF Format als ZIP Datei:

• Einführung (Moore's Law) und Grundlagen der Lithografie
• Optische Strukturierung (Grundlagen, Auflösung, Depth of Focus)
• Photo-Resiste (Tempern, Entwicklung)
• Modellierung und Dünne Schichten
• Optische Lithografiegeräte - Waferstepper und Waferscanner
• Überdeckung (Overlay) und Alignment
• Masken und Reticle
• Auflösungserhöhung (PSM, OAI, OPC)
• Messtechnik (Linienbreite, Profil, Overlay, Schichtdicke, Brechzahl)
• Grenzen der optischen Lithografie (Auflösung, Wellenlänge)
• Kosten der Lithografie
• Next Generation Lithografie (x-Ray, EUV, E-Beam, Ionenstrahl-Projektion)
• Ausgewählte Anwendungen (Bio Chip, DMD, Photonische Kristalle)

Waferstepper der Firma ASML (NL)

Kontakt:

email dr.joerg.bischoff(at)web.de

Telefon: 03677 800249

Wichtige Links:

Semiconductor Industry:

Sematech Consortium

Semicon Org

Semiconductor International

Lith Modellierung:

UC Berkeley Lith Simulator

Sigma C

Optik Organisationen:

Deutsche Gesellschaft für Angewandte Optik (DGaO)

International Society for Optikcal Engineering (SPIE)

Optical Society of America (OSA)

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