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Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®



Ansprechpartner

Prof. Dr. Jens Müller

Institutsdirektor

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INHALTE

Präsident der Faunhofer-Gesellschaft zu Gast am IMN MacroNano

Besucher zum Tag der offenen Tür

Nach der Unterzeichnung des Gründungsvertrags des neuen Fraunhofer-Projektzentrums im TMWWDG in Erfurt am 18.08.2017, besuchte der Präsident der Faunhofer-Gesellschaft, Prof. Neugebauer, direkt im Anschluss daran das Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano. Begleitet wurde er von Tankred Schipanski, Senatsmitglied der Fraunhofer-Gesellschaft.

                                                                                                            In dem einstündigen Termin wurden potentielle Kooperationsfelder des neu entstehenden Projektzentrums und dem IMN MacroNano eruiert. Die interdisziplinäre Arbeit des Projektzentrums im Bereich Mikroelektronischer und Optischer Systeme für die Biomedizin bietet interessante Anknüpfungspunkte an die TU Ilmenau. Das nach eigenen Aussagen wirtschaftlich orientierte Fraunhofer-Projektzentrum wird aus drei Forschergruppen der Fraunhofer-Institute für Photonische Mikrosysteme IPMS, dem Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, sowie dem Fraunhofer-Institut für Zelltherapie und Immunologie IZI, am Standort Erfurt gebildet. Im Gespräch mit dem Rektor der TU Ilmenau, dem Institutsdirektor und zahlreichen Fachgebieten des Instituts stellte Prof. Neugebauer klar, dass die biomedizinische Elektronik einen stetig wachsenden Einfluss auf die Neugestaltung der Gesellschaft haben werde.

Weitere Informationen zum neugegründeten Projektzentrum finden Sie in der Pressemitteilung der Fraunhofer Gesellschaft.

Projektabschluss NanoTecLearn

Besucher zum Tag der offenen Tür

Das Institut für Mikro- und Nanotechnologien und das Institut für Medientechnik laden zur Abschlussveranstaltung des Projektes "NanoTecLearn" am 19. Juli 2017 von 10:00 bis 15:00 Uhr in den Feynmanbau 114/115 ein.

NanoTecLearn ist eine Wissensplattform zur Mikro-Nano-Integration. Mikro- und Nanotechnologien sind wichtige Zukunftstechnologien für wirtschaftliche Wachstumsbranchen. Der schnelle Wissenszuwachs und  die Situation in KMU erfordern Bildungskonzepte, um extern verfügbares Wissen in die Unternehmen zu transferieren. Drei Lehrstühle der TU Ilmenau erarbeiten zusammen mit Verbänden und Unternehmen die Plattform.
Ziel ist es, das Unsichtbare der Mikro-und Nanotechnologie für die Aus- und Weiterbildung erfahrbar zu machen. Die Plattform soll Unternehmen gezielt unterstützen, Mitarbeiter auf dem Gebiet der Mikro-Nano-Integration zu qualifizieren. Digitale Medien ermöglichen variable didaktische Zugänge, zum Beispiel interaktive 3D-Visualisierungen und Formeln, hypermediale Texte mit interaktiven Aufgaben. Szenarien aus dem Arbeitsalltag werden mit theoretischem Basiswissen verknüpft.

Wir trauern um Gerd Eichhorn

Besucher zum Tag der offenen Tür

Wir trauern um Doz. Dr.-Ing. habil Gerd Eichhorn, der am 02.05.2017 nach langer schwerer Krankheit im Alter von 77 Jahren verstorben ist. Er war von 1965 in der damaligen Sektion PHYTEB und dann in der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik bis zu seinen Ausscheiden im Jahr 2004 als Dozent für Mikroelektronik tätig.

Nach dem Studium der Chemie in Halle kam er 1965 an die TH Ilmenau und begann eine Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter im Fachgebiet Chemie/Werkstoffe. Er promovierte 1969 mit der Arbeit „Herstellung epitaktischer Heteroübergänge aus Zinkselenid und Galliumarsenid durch chemischen Transport“.

Er habilitierte sich 1984 mit einer auch heute noch sehr aktuellen Arbeit zur „Präparation und Untersuchung von Aluminumnitridschichten für die Mikroelektronik“. In den neunziger Jahren leistete er eine erhebliche wissenschaftliche Arbeit auf dem Gebiet der schnellen thermischen Prozesse (Rapid Thermal Processing) für die Mikro- und Nanoelektronik, indem unter seiner Leitung, ein völlig neuartiger Reaktortyp für die Oxidation, chemische Dampfphasenabscheidung (CVD) und das Tempern von Halbleiterterscheiben entwickelt wurde.

Nach seiner Ernennung als Fachgebietsleiter für die Halbleitertechnologie war er dann einer der Gründungsväter des Zentrums für Mikro und Nanotechnologie, welches aus einer im Dezember 1992 unter seiner Leitung kurzfristig zu erstellenden Studie hervorging. Er bereitete die Begutachtung durch die DFG 1998 vor, die dann zum Bau des Technologiegebäudes führte. Hier war er der Vertreter der Universität, der in allen Fragen zum Bau und zur Ausstattung die Fäden in der Hand hielt. Er fungierte als kompetenter Ansprechpartner für die Auswahl der Großgeräte, da er sehr ruhig und vermittelnd die vielfältigen Interessen der zukünftigen Nutzer in geordnete Bahnen lenkte. Durch die vielfältigen Absprachen mit dem Ministerium in Erfurt, dem Dezernat Bau, den Architekten und mit den zukünftigen Nutzern hat er alle Gründungsdirektoren des ZMN uneigennützig unterstützt. Er wirkte an einer Schlüsselstelle der wissenschaftlichen Erneuerung der Universität und legte den Grundstein für die erhebliche Verbesserung der Forschungsmöglichkeiten auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnologien an vorderster Stelle mit. 

Für diese Leistungen beim Aufbau des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (Feynmanbau) der Technischen Universität Ilmenau wurde er 2006 mit der Universitätsmedaille der Technischen Universität Ilmenau ausgezeichnet. Rektor Peter Scharff würdigte in der Laudatio den unermüdlichen Einsatz Gerd Eichhorns bei der Errichtung des Forschungszentrums u. a. mit folgenden Worten: „Seine konstruktive und fachlich versierte Art ermöglichte es, die wissenschaftlichen Anforderungen und Visionen in realisierbare Vorschläge umzusetzen.“

Dr. Gerd Eichhorn hat mit seiner zielstrebigen Arbeit wesentlich zum Aufbau des heute sehr erfolgreichen Zentrums für Mikro- und Nanotechnologie beigetragen.

Wir werden sein Andenken in Ehren halten.

TU Ilmenau auf der Hannover Messe

Besucher zum Tag der offenen Tür

Vom 24. - 28. April 2017 konnte der Stand der TU Ilmenau auf der Hannover Messe besichtigt werden. Unter dem Motto "Tools for the Life Sciences" wird der Stand vom Fachgebiet Nanobiosystemtechnik ausgestellt und betreut. Weitere Exponate lieferten die Fachgebiete Multimodale Datenanalyse in der Biomedizintechnik, Elektroniktechnologie und Mikromechanische Systeme. 

Tag der offenen Tür am ZMN

Besucher zum Tag der offenen Tür

Rund 250 Gäste konnten am Samstag, den 22. April 2017 zum Tag der offenen Tür am ZMN begrüßt werden. Neben den zahlreichen Führungen für interessierte Studienanfänger, Alumni und mitgebrachten Eltern, stellten auch Studierende Ihre Masterstudiengänge vor. Experimente rund um den Stickstoff, die Wirkungsweise eines Wii-Controllers und die Darstellung einer Wärmebildkamera rundeten das bunte Programm im Feynmanbau ab.

Ein Ereignis, das es zu feiern gilt - 15 Jahre ZMN

1. Industrie-Innovationsdialog an der TU Ilmenau

Am 15. Februar 2017 startet das neue Veranstaltungsformat der LEG Thüringen „Industrie-Innovationsdialog“ (IID) an der TU Ilmenau. Bei dem Treffen zwischen Forschungseinrichtungen und Unternehmen aus Thüringen geht es um die bessere Verknüpfung zwischen (Grundlagen-)Forschung und Industrieanwendungen. Damit soll die Innovationskraft Thüringens weiter ausgebaut werden.

Thüringen verfügt über eine ausdifferenzierte und leistungsstarke Forschungslandschaft. Die Herausforderung ist hierbei, die vorhandene Expertise in Produkte zu überführen. Mit dem Industrie-Innovationsdialog stellt die LEG Thüringen eine Plattform zur Verfügung, bei denen Forschungseinrichtungen regionalen Unternehmen vor Ort ihre Expertise vorstellen und den Bedarf an industrienaher Forschung gemeldet bekommen. „An Innovationen sind mindestens zwei Partner beteiligt – die Forschung und die Industrie. Diese beiden Partner sollten daher regelmäßig in intensiven Austausch miteinander treten.“, so Peter Schaaf, Professor für Werkstoffe für die Elektrotechnik an der TU Ilmenau und Mitinitiator des ersten Industrie-Innovationsdialogs. Ziel ist es, innovative Ansätze und wissenschaftliche Erkenntnisse industrienah weiterzuentwickeln und zur Marktreife zu bringen.

Wie wichtig die enge Zusammenarbeit mit der Wissenschaft für den wirtschaftlichen Erfolg ist, kann auch Lars Dittrich, Geschäftsführer der 5microns GmbH aus eigener Erfahrung bestätigen: „Aus meiner Sicht ist Thüringen in vielerlei Hinsicht sehr gut aufgestellt, was die Infrastruktur anbelangt. In einem KMU-dominierten, flächen- und bevölkerungsmäßig vergleichsweise kleinen Bundesland gelingt Innovation aber nur durch Kooperation.“ Als ingenieurtechnischer
(Entwicklungs-)Dienstleister im Bereich der Mikrosystemtechnik arbeitet die 5microns GmbH seit ihrer Gründung eng und erfolgreich mit dem Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) der TU Ilmenau zusammen. Mit seinem Vortrag im Rahmen des 1. Industrie-Innovationsdialogs möchte er die Möglichkeiten und Chancen, aber auch die Risiken und Grenzen solch einer engen Zusammenarbeit vorstellen.

Neben direkten Gesprächen zwischen Unternehmen und Hochschulen legt die LEG ebenso Wert auf Wissensvermittlung im Rahmen der Projektfinanzierung für FuE-Projekte. 

Anmeldungen sind noch bis 9. Februar 2017 unter www.cluster-thueringen.de/iid möglich.

Programm des 1. Industrie-Innovationsdialogs

 

Kontakt:

Prof. Peter Schaaf
FG Werkstoffe der Elektrotechnik
Tel.: 03677 69-3611
E-Mail: peter.schaaf@tu-ilmenau.de

Nobelpreisträgerin zu Gast an der TU Ilmenau

Prof. Jacobs

Die Nobelpreisträgerin Frau Prof. Christiane Nüsslein-Volhard war am 01. Februar 2017 zu Gast im Institut für Mikro- und Nanotechnologien. Nach einem Termin mit der Gruppe um Herrn Prof. Schober ließ sie sich die technische Infrastruktur im ZMN zeigen. Der Anlass Ihres Besuchs galt dem danach stattfindenden gemeinsamen Kolloquium der Chemie und Physik. In Ihrem Vortrag „Gradient models in developmental biology: a historical perspective“ führte die Wissenschaftlerin des Max-Plack-Instituts in den geschichtlichen Abriss von Erklärungsmodellen ein, wie aus einer Zelle ein komplexes Lebewesen werden kann. Im voll besetzten Hörsaal saßen neben zahlreichen Studierenden und Professoren auch der Rektor der TU Ilmenau und die ehemalige Vorsitzende des Wissenschaftsrats Frau Prof. Schipanski. 

Ihren Nobelpreis für Physiologie oder Medizin erhielt Christiane Nüsslein-Volhard 1995 für ihre Forschungen über die genetische Kontrolle der frühen Embryonalentwicklung. Nach fast zwei Jahrzehnten als Direktorin der Abteilung für Genetik des Max-Planck-Instituts für Entwicklungsbiologie in Tübingen, leitet Prof. Nüsslein-Volhard an jenem MPI seit 2014 die Emeritus-Forschungsgruppe "Color pattern formation".

Kontakt:
Prof. Andreas Schober
FG Nanobiosystemtechnik
Tel.: 03677 69-3387
E-Mail: andreas.schober@tu-ilmenau.de

TU Ilmenau forscht an den "Leiterplatten von morgen"

Prof. Jacobs
Foto: Karsten Möbius

Über die Leiterplatten von morgen spricht Prof. Heiko Jacobs, Fachgebiet für Nanotechnologie an der TU Ilmenau, am

31. Januar 2017, 12:40 Uhr bei MDR Kultur.

Seine Forschung verfolgt das Ziel, die gegenwärtig starren Leiterplatten dehnbar zu gestalten. Über die Herausforderung, die darauf befindliche Elektronik ebenfalls aus ihrem bisher starren Zustand herauszuholen berichtet Prof. Jacobs im Interview. 

Kontakt:
Prof. Heiko Jacobs
FG Nanotechnologie
Tel.: 03677 69-3723
E-Mail: heiko.jacobs@tu-ilmenau.de

Kluge Köpfe in Thüringen

Am 10. und 11. November 2016 war LexiTV vom mdr an der TU Ilmenau unterwegs. Spannende Einblicke in die verschiedenen Bereiche der Technischen Universität sowie einen Überblick über aktuelle Forschungsthemen sind das Ergebnis der Dreharbeiten.

Wissenschaft zum Staunen und Anfassen aus dem IMN MacroNano findet man ab Minute 44:50.  

Kluge Köpfe in Thüringen: LexiTV vor Ort in Ilmenau und Jena

DFG-Graduiertenkolleg für internationale Spitzenforschung

Prof. Schober
Prof. E. Manske, Sprecher des Graduiertenkollegs / © TU Ilmenau

Die Deutsche Forschungsgemeinschaft hat der Technischen Universität Ilmenau die Einrich­tung des Graduiertenkollegs „Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen (NanoFab)“ bewilligt und fördert es mit 5,7 Millionen Euro für viereinhalb Jahre. Graduiertenkollegs sind unter Universitäten sehr begehrt, denn die Förderung ermöglicht ihnen hochspezialisierte Spitzenforschung und eröffnet gleichzeitig jungen Wissenschaftlern die Möglichkeit, einen Doktorgrad zu erlangen.

Da die zunehmende Verkleinerung von Bauelementen auf Größen bis zu unter 10 Nanometern die Produktion vor immer größere Schwierigkeiten stellt, wird das Graduiertenkolleg NanoFab innovative Fertigungsverfahren im Nanometerbereich für großflächige zwei- und dreidimensionale Strukturen entwickeln. Solche Arbeiten erfolgen an Nanopositionier- und Nanomessmaschinen größter Präzision. Unter Einsatz von spitzen- und laserbasierten Techniken werden die Wissenschaftler um den Sprecher des Graduiertenkollegs, Professor Eberhard Manske, alternative Lithographieverfahren erarbeiten, mit denen zum Beispiel Präzisionsoptiken mit neuen, bislang nicht möglichen optischen Eigenschaften gefertigt werden können. Ebenso soll die Herstellung ultrakleiner Bauelemente für elektronische Geräte bis in den Nanometerbereich erforscht werden. Dadurch finden auf einem Mikrochip immer mehr Transistoren Platz, die unter anderem Smartphones, Tablets und PCs hohe Rechenleistungen ermöglichen.

Professor Manske, Leiter des Fachgebiets Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik an der TU Ilmenau, ist sich sicher, die Vorgabe der Deutschen Forschungsgemeinschaft, 13 Doktoranden die Chance zu bieten, in einem strukturierten Forschungs- und Qualifizierungsprogramm auf hohem fachlichem Niveau zu promovieren, erfüllen zu können: „Mit unserem seit vielen Jahre erfolgreich entwickelten Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen an der TU Ilmenau bestehen dazu die besten Voraussetzungen. Es verfügt über eine weltweit einzigartige wissenschaftlich-technische Ausstattung: fünf Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, mit denen wir nun auch die Forschung auf dem Gebiet der Nanofabrikation vorantreiben werden.“

Der Rektor der TU Ilmenau, Prof. Peter Scharff, freut sich über die Einrichtung des neuen Graduiertenkollegs sehr: „Das ist ein großer Erfolg für die Forschungsarbeiten auf dem Gebiet der Nanopositionier- und Nanomessmaschinen und untermauert die weltweite Spitzenposition der TU Ilmenau in diesem Bereich.“

Kontakt:
Prof. Eberhard Manske
Sprecher Graduiertenkolleg NanoFab
Tel.: 03677 69-1250
E-Mail: eberhard.manske@tu-ilmenau.de