Im Zentrum der wissenschaftlichen Arbeit steht der nachhaltige Ausbau der Spitzenforschung des Instituts und dazu insbesondere die Schärfung des universitären Profils. Das Institut entwickelt eigene Projekte und ist Partner zahlreicher Kooperationsprojekte. Im Jahr 2011 wurden ca. 50 Projekte bearbeitet und damit Drittmittel von mehr als 9,5 Mio. € erwirtschaftet. Projektübersicht (Stand 03/2012)

Projektauswahl nach Rubriken

• Mikro- und Nanosystemintegration
• Mikro-opto-elektro-mechanische Systeme
• Fluidische Systeme und Bio-Mikrosystemtechnik
• Intelligente Werkstoffe und Oberflächenmodifikation
• Nanomess- und Nanopositioniertechnik
• Mikro- und Nanoelektronik
• Mikro- und Nanosensorik
• Mikro- und Nanodiagnostik
• Polymerelektronik und Photovoltaik
• Bauelemente
• weitere Projekte

abgeschlossene Projekte