Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien

Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien gehört als zentrale technologische Einrichtung zu den Betriebseinheiten der Universität. Es steht als Technologie-Plattform sowohl für die grundlagenorientierte, als auch für die angewandte Forschung im Bereich der Mikro- und Nanosysteme sowie der Materialwissenschaften zur Verfügung. Dazu gehören Basistechnologien zur Beschichtung, Strukturierung und Oberflächenbearbeitung von Silicium, Gruppe III-basierten Halbleitern, Metallen, Oxiden, Gläsern, Keramiken für Hybridtechniken und von leitfähigen Polymeren für Solarzellen und druckbare Elektronik. Eine leistungsstarke Analytik bis in die atomare Größenordnung rundet die wissenschaftliche Ausstattung ab. Insgesamt verfügt das ZMN über eine Nutzfläche von etwa 2000 m², darunter ca. 750 m² Reinräume unterschiedlicher Klassen und Speziallabore z.B. für die Arbeit mit biologischen Proben (Sicherheitsstufe S1) oder für hochpräzise Messtechnik.

Wissenschaftlicher Counterpart des ZMN ist das Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®. Seine Fachgebiete bringen eigene Technologie und Mitarbeiter in das Zentrum ein und geben durch ihre Projekte sowohl das wissenschaftliche Profil als auch die forschungsstrategische Weiterentwicklung vor. Durch die räumliche Nähe der verschiedenen Fachgebiete und Forschergruppen im Feynmanbau entsteht ein intensiver wissenschaftlicher Austausch in einem kreativen Umfeld. Interdisziplinarität wird großgeschrieben!

Neben dem IMN MacroNano® können alle Fachgebiete der Universität die vorhandene Infrastruktur nutzen; darüber hinaus können Dienstleistungen gegenüber Dritten angeboten werden.

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