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INHALTE

IMN-Kolloquium

< 40 Jahre Kita "Studentenflöhe"

08.06.2017

IMN-Kolloquium

Im Rahmen der Kolloquien des Instituts für Mikro- und Nanotechnologien spricht am Dienstag, dem 13. Juni 2017, um 13:00 Uhr im Feynmanbau, Raum 114/115, Dipl.-Ing. Manuela Breiter, Technologiebetreuerin der Prozessgruppe Plasmabasiertes Ätzen, IMN MacroNano®, TU Ilmenau, zum Thema: Trockenätzen von Silizium am IMN - Neues und Bewährtes“.

Zum Vortrag:
Die Herstellung von funktionalen Strukturen in Silizium im Mikro-und Nanometerbereich ist für viele Nutzer im Institut für Mikro- und Nanotechnologie ein entscheidender Prozessschritt. Dabei sind die Anforderungen an die Strukturen sehr vielfältig. Sie reichen von nanometerbreiten und –tiefen Strukturen, über glatte Seitenwände hin zu einige Hundert Mikrometer  tiefen Strukturen mit hohem Aspektverhältniss. Mit den Verfahren des plasmaunterstützten Trockenätzens ist die Fertigung von Stegen, Gräben, Löchern, Membranen oder andere Geometrien unabhängig von der Kristallorientierung des Siliziums möglich.

Im Vortrag werden die am IMN vorhandenen Möglichkeiten zum Trockenätzen von Silizium vorgestellt. Die erzielten Ätzstrukturen werden charakterisiert und auf die anwendungsspezifischen Problematiken eingegangen.