Das Fachgebiet Mikromechanische Systeme (MMS) befasst sich mit der Entwicklung, Fertigung und Charakterisierung Mikro-Elektro-Mechanischer (Sub-)Systeme (MEMS). Insbesondere die Aspekte der Mikro-Nano-Integration sowie fluidische und optische Mikrosysteme bilden Schwerpunkte der Forschungstätigkeit.

Unsere Forschungsaktivitäten konzentrieren sich auf die Erforschung neuer Technologien und Materialien für Mikro- und Nanosysteme und auf die anwendungsbezogene Entwicklung und Systemintegration von mikromechanischen Systemen.

Im fakultätsübergreifenden Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano®) erfolgt eine enge Zusammenarbeit  mit anderen Fachgebieten der TU Ilmenau im Rahmen gemeinsamer Forschungsprojekte, insbesondere auch in Kooperation mit Unternehmen und externen Forschungsinstituten. Das Fachgebiet nutzt dazu das Technologiepotenzial des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) und ist hier verantwortlich für die Bereitstellung wesentlicher Teile der Silicium-basierten Technologielinie.