http://www.tu-ilmenau.de

Logo TU Ilmenau


Fakultät für Maschinenbau
FG Mikromechanische Systeme


Ansprechpartner

Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Martin Hoffmann

Leiter des Fachgebietes

Telefon +49 3677 69-2487

E-Mail senden


Ihre Position

INHALTE

Fachgebiet Mikromechanische Systeme

Unser Fokus in der Forschung liegt auf der Entwicklung, der Fertigung und Charakterisierung von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS). Gegenwärtig befassen wir uns vor allem mit Anwendungen für Optische Mikrosysteme (inklusive Integrierter Optik und MOEMS), MEMS für die Lebenswissenschaften (insbesondere implantierbare Sensorik) und für Energie-effiziente Systeme (Energy Harvesting und extrem leistungsarme Sensoren).

Neben der Si-basierten MEMS Technologie erforschen wir die Integration von Nanostrukturen in Mikrosysteme (Mikro-Nano-Integration), insbesondere Nano-Gras aus Silicium oder AlN (Aluminiumnitrid), erzeugt durch additive oder subtraktive Technologien und nanokristalline AlN Dünnschichten für mechanische Anwendungen.

Wir arbeiten eng mit anderen Fachgebieten des Instituts für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano®) zusammen, insbesondere in Verbundprojekten mit industriellen und externen Forschungspartnern. Darüber hinaus sind Mitarbeiter des Fachgebietes MMS für große Teile der Si-basierten Infrastruktur des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) verantwortlich.