Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 7524 - allgemeine Informationen
Fachnummer7524
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2142 (Nanotechnologie)
Fachverantwortliche(r) Dr. Jörg Pezoldt
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
VorkenntnisseDie Vorlesung baut auf der Vorlesung „Technologie optoelektronischer Bauelemente“ des BA Optronik. Es werden gleichzeitig Kenntnisse auf dem Gebiet der Wirkungsweise von optischen Sensoren und Empfängern, Feskörperlaser, Solarzellen und nanooptischen Komponenten vorrausgesetzt.
LernergebnisseAufbauend auf der Vorlesung „Technologie optoelektronischer Baulemente“ werden weiterführende Techniken behandelt, die für die Realisierung von Bauelementen der Optoelektronik notwendig, welche auf lateral und vertikal strukturierte Gebiete im Nanometerbereich beruhen. In der Lehrveranstaltung werden ausgehend vom Design der Bauelemente die technologischen Verfahren für ihre Herstellung abgeleitet und im einzelnen behandelt. Neben den deterministischen Strukturierungs- und Prozessierungsprinzipien werden Technologien vermittelt, die auf Selbstformierungs- und Selbstorganisationsprinzipien beruhen.
Die Studierenden vertiefen ihre Kenntnisse über die Herstellung nanooptoelektronischer Bauelemente und sind fähig technische und wirtschaftliche Aspekte zu beurteilen.
Sie sind in der Lage Prozeßabläufe für die Herstellung nanooptoelektronischer Bauelemente und Syteme zu analysieren und zu entwickeln.
Sie sind fähig zur Systemintegration optoelektronischer Bauelemente unter Einbeziehung von Spiegeln und Wellenleitern
Inhalt1. Nanooptoelektronische Bauelemente
2. Deterministische und selbstorganisierende Technologien
3. Prinzipien der Selbstorganisation und Selbstformierung in technologischen Prozessen
4. Nanolithographie
5. Nanoätzen
6. Nanoepitaxie
7. Nanoionenimplantation
MedienformenOverhead-Folien und Tafel
Literatur1. H. Zimmermann, Silicon optoelectronic integrated circuits, Springer, 2004, 352 S.
2. Optical Interconnects: The Silicon Approach, Eds. L. Pavesi, G. Guillot, Springer, 2006, 377 S.
3. Z. Cui, Nanofabrication: Principles, Capabilities and Limits, Springer, 2009, 348 S.
4. V.A. Shuchkin, N.N. Ledentsov, D. Bimberg, Epitaxy of Nanostrucutres, Springer, 2003, 387 S.
5. S. Janusonis, Self-formation Theory and Applications, Solid State Phenomena, Vol. Vols. 97-98, 2004, 492 S.
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Master Optische Systemtechnik/Optronik 2017
FachnameMikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik
Prüfungsnummer2100153
Leistungspunkte3
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)68
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Optronik 2008, Master Optronik 2010, Master Optische Systemtechnik/Optronik 2014
FachnameMikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik
Prüfungsnummer2100153
Leistungspunkte3
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)68
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.