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Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan sowie dem Modulhandbuch, abgelegt auf den Seiten zum Studienangebot. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis. Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis.

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Master Micro- and Nanotechnologies (2016)

1. FS 2. FS 3. FS 4. FS Abschluss LP Details
Modul / Fach V Ü P V Ü P V Ü P V Ü P
Electronics Technology 1 MP 6 Details
Electronics Technology 1 2 2 1 mPL 30 min 6 Details
Semiconductor devices 1 MP 5 Details
Semiconductor devices 1 2 2 0 mPL 30 min 5 Details
Materials of Micro- and Nanotechnologies MP 5 Details
Materials of Micro- and Nanotechnologies 2 2 0 sPL 90 min 5 Details
Nanodiagnostics MP 5 Details
Nanodiagnostics - Seminar and Practical course 0 1 1 SL 2 Details
Spectroscopic methods 2 0 0 mPL 30 min 3 Details
Nanotechnology MP 5 Details
Nanotechnology 2 2 0 mPL 30 min 5 Details
Micro Technologies 2 MP 5 Details
Mikrotechnologie 2 2 1 1 mPL 30 min 5 Details
Laboratory for Materials & Micro/Nanofabrication 5 Details
Laboratory for Nanomaterials 0 0 1 SL 2 Details
Micro/Nanofabrication Laboratory 0 0 2 SL 3 Details
1. FS 2. FS 3. FS 4. FS Abschluss LP Details
Modul / Fach V Ü P V Ü P V Ü P V Ü P
Introduction to Project work / Soft skills MP 9 Details
Introduction to advanced research 2 0 0 aPL 60 min 3 Details
Introduction to scientific work 1 0 0 SL 2 Details
Soft skills (Choice from the non-technical subject catalogue of the TU Ilmenau) 4 Details
Project with seminar MP 10 Details
Project with seminar  300h  PL 300 Stunden 10 Details
Advanced Studies (Choice of subjects according to the actual catalogue) MP 30 Details
Advanced Packaging and Assembly Technology 2 2 0 mPL 30 min 5 Details
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 2 1 0 sPL 120 min 4 Details
Material states and material analysis 2 1 1 PL  5 Details
Micro- and nanosystems technology 2 2 2 0 mPL 30 min 5 Details
Micro and nano sensor technology 2 2 0 mPL 30 min 5 Details
Micro and semiconductor technology 2 2 2 0 mPL 30 min 5 Details
Micro sensor technology 2 0 0 mPL 30 min 3 Details
Nanoelectronics 3 1 0 mPL 30 min 5 Details
Nanostructure physics 2 1 0 mPL  4 Details
Semiconductor devices 2 2 2 0 mPL 30 min 5 Details
3D material analysis 2 2 0 mPL 30 min 5 Details
Design von Mikrosystemen 2 1 0 mPL 30 min 4 Details
Functional materials 2 2 0 sPL 90 min 5 Details
Functional peripherics 2 1 1 mPL 30 min 4 Details
Ghz- and Thz- electronics 2 2 0 mPL 30 min 5 Details
Microactuators 2 0 0 mPL 30 min 3 Details
Thin films and surfaces 2 0 0 sPL 90 min 3 Details
1. FS 2. FS 3. FS 4. FS Abschluss LP Details
Modul / Fach V Ü P V Ü P V Ü P V Ü P
Technical elective subject(s) (Choice of technical subject(s) from the master curricula of the TU Ilmenau) 5 Details
Master thesis incl. colloquium MP 30 Details
Colloquium mPL 30 min Details
Master thesis  900h  sMA 6 Mon. 30 Details


Legende
Abkürzung Bedeutung