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Fachgebiet Technische Physik I


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Ansprechpartner

Prof. Dr. Stefan Krischok

Fachgebietsleiter

Telefon 03677 693701

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INHALTE

Aktuelles

Themen für Bachelor- und Masterarbeiten

Untersuchung von Gaswechselwirkungen an Indiumoxid-Oberflächen

 

Im Rahmen des Projekts „Seebeck Gassensoren“ untersuchen wir den Einfluss von Oberflächenoxidation (O-Plasma Behandlung, Ozon-Wechselwirkung,…) und –reduktion (Vakuumtempern, Beleuchten mit UV-Licht,…) auf die elektronischen Oberflächeneigenschaften (z. B. Austrittsarbeit, Bandverbiegung, Oberflächendipolbildung) von Indiumoxidschichten. Dafür nutzen wir hauptsächlich Photoelektronspektroskopie (XPS und UPS) zur Charakterisierung der Schichten vor und nach der Gaswechselwirkung. Indiumoxid wird genutzt zur Detektion von Ozon, um die Selektivität des Sensors zu bestimmen, muss auch der Einfluss anderer Gase (z. B. O2, H2O, NOx) untersucht werden. Abhängig vom Stand des Projektes soll die Wechselwirkung mit einem Gas analysiert werden, gegebenenfalls mit vorheriger Konzeptionierung.

 

Ansprechpartner:

Theresa Berthold (E-Mail, Tel: 03677 69-3417)

Herstellung und Charakterisierung von hochmagnetostriktiven TbFe2-Schichten für Magnetfeldsensoren

Magnetostriktion ist die Deformation magnetischer (insbesondere ferromagnetischer) Stoffe infolge eines angelegten magnetischen Feldes. Dabei erfährt der Körper bei konstantem Volumen eine elastische Längenänderung auf Grund der Ausrichtung der Weissschen Bezirke. Terbiumferrit (TbFe2) ist das Material mit den höchsten magnetostriktiven Parametern bei Raumtemperatur und eignet sich damit insbesondere für den Einsatz in mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) – sowohl als Aktor- als auch als Sensorschicht. Die Stärke des magnetostriktiven Effektes in dünnen Schichten hängt jedoch wesentlich von der Schichtherstellung selbst, dem verwendeten Substrat (und eventuellen Zwischen-schichten) und der thermischen Nachbehandlung ab, da sich weich- und hartmagnetische Phasen ausbilden können.

Im Rahmen der Masterarbeit soll TbFe2 mit Hilfe der Sputterdeposition auf Silizium  und Aluminiumnitrid abgeschieden und in Abhängigkeit von den verwendeten Sputterparametern auf seine Eigenschaften untersucht werden. Darüber hinaus soll der Effekt eines thermischen Rekristallisationsprozesses (Rapid Thermal Processing, RTP) auf die Kristallinität und Magnetisierung der Proben untersucht werden. Insbesondere steht die Untersuchung der kristallinen Eigenschaften mit Röntgenbeugung (XRD), der magnetischen Eigenschaften mit Hilfe eines Vibrationsmagnetometers und der Magnet-Rasterkraftmikroskopie (MFM) und der elektrischen Leitfähigkeit im Vordergrund.

 

Ansprechpartner:

Dr.-Ing. Katja Tonisch, E-Mail, Tel: 03677 69-4954)