Nanopositionier- und Nanomessmaschinen | | 
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Nanopositionier- und Messmaschine
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Das Ziel des Sonderforschungsbereichs 622 „Nanopositionier- und Nanomessmaschinen“ liegt in der Erarbeitung der wissenschaftlichen - technischen Grundlagen zum Entwurf und zur Realisierung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen. Nanomess- und Nanopositioniergeräte sind für die nanometergenaue Positionierung und Messung von Nanooberflächen- und Nanostrukturnormalen und von mechanischen und optischen Präzisionsteilen sowie für die Materialanalyse erforderlich. Das Einsatzgebiet in zukunftsorientierten Technologien und Techniken erstreckt sich über eine Vielzahl von unterschiedlichen Disziplinen:  | Halbleitertechnik
| | extreme UV-, Elektronenstrahl- und Röntgenlithographie
| | Nanoimprinting
| | Lithographie
| | Nanostrukturierung
| | Nanofabrication
| | Waferlevel – Testing
| | Präzisions- und Mikrooptik
| | Mikromechanik
| | Kristallographie
| | Mineralogie
| | Bio- und Gentechnik |
„Es handelt sich um einen sehr schöpferischen und innovativen SFB. Der Weltstand auf dem Gebiet der Nanopositionier- und Nanomesstechnik wird von Ilmenau bestimmt.“
- Einschätzung des Berichterstatter Prof. Klaus Weinert vor dem Senat der DFG - Aufgabe der Nanopositionier- und Nanomessmaschinen ist es technische, technologische und analytische Operationen mit höchster Präzision und Dynamik ausführen. Die großen Herausforderungen bestehen darin, dass die Nanopositionier- und Nanomessmaschinen Forderungen nach immer größeren Bewegungsbereichen mit extremen Genauigkeiten und hohen Positioniergeschwindigkeiten genügen müssen (Messvolumina von 350 mm x 350 mm x 5 bis 50 mm). Außerdem sind zu entwickelnde neuartige Antastsysteme und Nanotools (Bearbeitungstools) in die Nanopositionier- und Nanomessmaschinen einzubinden.
Das an der TU Ilmenau gemeinsam mit der Firma SIOS Messtechnik Ilmenau GmbH entwickelte Präzisionsgerät ist derzeit das genaueste seiner Art weltweit.
 Messvolumen: 25 x 25 x 5 Kubikmillimetern
Positionierunsicherheit: < 10 Nanometern
Messauflösung: 0,1 Nanometer
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Das aus Wissenschaftlern von etwa
14 Fachgebieten der TU Ilmenau bestehende
SFB-Forscherteam
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Projektpartner
Fachbereiche an der Universität
Messtechnik im Maschinenbau
Prozessmesstechnik
Technische Mechanik
Konstruktion
Feinwerktechnik
Mechatronik
Regelungstechnik
Nanotechnologie (ZMN)
Werkstoffe der Elektrotechnik, Metallische Werkstoffe und Verbundwerkstoffe
Technische Physik
Rechnerarchitektur
Graphische Datenverarbeitung
Qualitätssicherung
Projektbereiche
Zur effektiven Bündelung der Fachkompetenz der beteiligten Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler wurde der Sonderforschungsbereich in drei Projektbereiche untergliedert: Fördervolumen
1. Förderperiode (2002-2005): 4,7 Mio Euro
2. Förderperiode (2005-2009): 6 Mio Euro
Mehr Information: http://www4.tu-ilmenau.de/sfb622/ | 
