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| Fachgebiete | Fachgebietsleiter |
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 FG Anorganisch-nichtmetallische Werkstoffe | Prof. Dr. E. Rädlein |
| FG Biomechatronik | Prof. Dr. H. Witte |
| FG Biosignalverarbeitung | Prof. Dr. P. Husar |
| FG Chemie | Prof. Dr. P. Scharff |
| FG Elektronische Messtechnik | Prof. Dr. R. S. Thomä |
| FG Elektrochemie und Galvanotechnik | Prof. Dr. C. Jakob |
| FG Elektroniktechnologie | Prof. Dr. J. Müller |
| FG Elektrothermische Energiewandlung | Dr. Ing. U. Lüdtke |
| FG Entwurf mechatronischer Antriebe | Prof. Dr. T. Ströhla |
| FG Experimentalphysik I | Prof. Dr. G. Gobsch |
| FG Experimentalphysik II | Prof. Dr. T. Klar |
| FG Feinwerktechnik | Prof. Dr. R. Theska |
| FG Fertigungstechnik | Dr. D. Szczesny |
| FG Festkörperelektronik | Dr. S. Scheinert |
| FG Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik | Prof. Dr. M. Hein |
| FG Konstruktionstechnik | Prof. Dr. C. Weber |
| FG Kraftfahrzeugtechnik | Prof. Dr. K. Augsburg |
| FG Kunststofftechnik | Prof. Dr. M. Koch |
| FG Leistungselektronik | Prof Dr. J. Petzoldt |
| FG Maschinenelemente | Prof. Dr. U. Kletzin |
| FG Mechatronik | Prof. Dr. T. Sattel |
| FG Medienkonzeption/ Medienpsychologie | Prof. Dr. N. Döring |
| FG Metallische Werkstoffe und Verbundwerkstoffe | Dr. G. Lange |
| FG Mikromechanische Systeme | Prof. Dr. M. Hoffmann |
| FG Mikro- und Nanoelektronische Systeme | Prof. Dr. I. W. Rangelow |
| FG Nanotechnologie | PD Dr. A. Schober |
| FG Physikalische Chemie/Mikroreaktionstechnik | Prof. Dr. J. M. Köhler |
| FG Präzisionsmesstechnik | Prof. Dr. E. Manske |
| FG Prozessmesstechnik | Prof. Dr. T.Fröhlich |
| FG Systemanalyse | Prof. Dr. Ch. Ament |
| FG Public Relations/Technikkommunikation | Prof. Dr. W. Schweiger |
| FG Technische Optik | Prof. Dr. S. Sinzinger |
| FG Technische Physik I | PD Dr. S. Krischok |
| FG Technische Physik II/ Polymerphysik | Prof. Dr. S. Stapf |
| FG Theoretische Physik I | Prof. Dr. E. Runge |
| FGWerkstoffe der Elektrotechnik | Prof. Dr. P. Schaaf |
| NWG Funktionalisierte Peripherik | Prof. Dr. J. Müller |
| NWG Mikrofluidik und Biosensorik | PD Dr. A. Schober |
| NWG Oberflächenphysik funktioneller Nanostrukturen | PH Dr S. Krischok |
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