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Institut für Mikro- und Nanotechnologien

Nanomess- und Nanopositioniertechnik


	Projekttitel	PI-NEMS 1+2+3
	Forschungsschwerpunkte	Entwicklung piezoelektrischer, mit Halbleiterbauelementen integrierbare AlGaN/Si- Nanoresonatoren für elektrokeramische Hochfrequenzsensoren
	Beteiligte Fachgebiete	Nanotechnologie, Hochfrequenzmesstechnik
		Laufzeit: 2006-2009


	Projekttitel	V-Optima
	Forschungsschwerpunkte	Weiterentwicklung des spektroskopisch-ellipsometrischen Messverfahrens im Hinblick auf die Charakterisierung von Halbleitern mit großer Bandlücke
	Beteiligte Fachgebiete	Nanotechnologie
		Laufzeit: 2008-2010