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Sie sind hier: Institut für Mikro- und Nanote... Technologische Plattform
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| | Für ihre wissenschaftlichen Forschungen nutzen die Mitarbeiter des IMN die hochentwickelte technische Infrastruktur des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN). Als zentrale Einrichtung der Universität stellt das ZMN eine umfassende Technologieplattform sowie Spezialgeräte für die  Silizium MEMS-Technologie, optische Lithographie Elektronenstrahl-Lithographie Epitaxie und Strukturierung von SiC, GaN und ZnO Polymer Prozesstechnologie Leiterplattentechnologie LTCC-Hybridtechnologie Oberflächenanalytik Elektrische, optische und strukturelle Charakterisierung dünner Filmeund das dazu gehörige Fachwissen für Partner aus Wissenschaft und Wirtschaft zur Verfügung. |