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Inhalt
Intelligente Werkstoffe und Oberflächenmodifikation
 | Projekttitel | LPH-GaN 1+2 |
| Forschungsschwerpunkte | Development of lateral polarity AlN/GaN heterostructures for nonlinear optical applications | |
| Beteiligte Fachgebiete | Nanotechnologie, Technische Physik I, Experimentalphysik I | |
| Laufzeit: 2006-2009 | ||
 | Projekttitel | CorDew |
| Forschungsschwerpunkte | Korrosionsfestes LTCC-basiertes Taupunktsensorsystem für in-line Betrieb und hohen Gastemperaturen Teilprojekt: Korrosions- und temperaturfeste Funktions- und Passivierungsschichten auf LTCC/Termische Modellierung | |
| Beteiligte Fachgebiete | Mikromechanische Systeme, Elektroniktechnologie | |
| Laufzeit: 2008-2011 | ||
 | Projekttitel | Metallisierungscluster |
| Forschungsschwerpunkte | PVD-Abscheide-Cluster mit thermischer Oxidation für die Herstellung von dünnen Schichten in der Mikro- und Nanosystemtechnik | |
| Beteiligte Fachgebiete | Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien, Werkstoffe der Elektrotechnik, Mikromechanische Systeme, | |
| Laufzeit: 2008-2009 | ||
 | Projekttitel | Exzellenz Spektroskopie |
| Forschungsschwerpunkte | Spektroskopie an funktionellen Oberflächen für sensorische und elektrochemische Anwendungen | |
| Beteiligte Fachgebiete | Technische Physik I | |
| Laufzeit: 2008-2009 | ||
| | Projekttitel | Exzellenz Graphen |
| Forschungsschwerpunkte | Graphen-Elektronik | |
| Beteiligte Fachgebiete | Festkörperelektronik | |
| Laufzeit: 2008-2009 | ||
 | Projekttitel | IAF-Nanodraht |
| Forschungsschwerpunkte | Hochfrequenz-Charakterisierung von Nanodraht-Strukturen | |
| Beteiligte Fachgebiete | Hochfrequenzmesstechnik | |
| Laufzeit: 2008-2009 | ||
 | Projekttitel | Hartstoffschichtsystem |
| Forschungsschwerpunkte | Strukturaufklärung an nach dem CVD-Verfahren erzeugten metastabilen TiAlN-Hartstoffschichten | |
| Beteiligte Fachgebiete | Werkstoffe der Elektrotechnik | |
| Laufzeit: 2009 | ||
 | Projekttitel | Cluster-Nanojet |
| Forschungsschwerpunkte | Cluster-jet adressing of nanoparticles to provide functional structures | |
| Beteiligte Fachgebiete | Mikro- und nanoelektronische Systeme | |
| Laufzeit: 2006-2009 | ||
| Projekttitel | SFB 622 Nanopositionierung Teilprojekt B3 |
| Forschungsschwerpunkte | Werkstoffe und Oberflächen | |
| Beteiligte Fachgebiete | Metallische Werkstoffe und Verbundwerkstoffe, Werkstoffe der Elektrotechnik | |
| Laufzeit: 2005-2009 | ||