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FG Werkstoffe der Elektrotechnik


headerphoto FG Werkstoffe der Elektrotechnik
Ansprechpartner

Univ.-Prof. Dr. Peter Schaaf

Fachgebietsleiter

Telefon +49 3677 69-3610

E-Mail senden

INHALTE

Pulsed Laser Deposition

Nd:YAG-Laser (Wellenlängen λ = 1064 nm, 532 nm, 355 nm; Pulsdauer: τ = 5-6 ns; max. Pulsenergie EPuls = 400 mJ/Puls)

 

Prinzipdarstellung der PLD-Kammer

 

Automatisierung der Schichtherstellung mittels LabView – Herstellung von Multilayern

Möglichkeiten

  • UHV-PLD-System
  • automatisierter Targethalter für 6 Targetpositionen
  • automatisierte Multilayer-Herstellung (ab ca. 1 nm pro Einzellage)
  • Substratheizung bis 750°C
  • Ionenstrahlgestützte PLD (N2, Ar)
  • Reaktive PLD (N2, Ar)
  • Anlegen einer Vorspannung zwischen Target und Substrat um Plasmateilchen zu beschleunigen bzw. abzubremsen

Vorwiegende Anwendungen

  • In-situ Phasensynthese von ternären Carbiden und Nitriden (Mn+1AXn-Phasen)
  • Herstellung von Carbiden
  • Herstellung von Nitriden
  • Herstellung von Multilayern aus elementaren Targets bzw. Elementverbindungen

GDOES

Materialanalytik

Materialanalytik

Das Fachgebiet Werkstoffe der Elektrotechnik besitzt viele Möglichkeiten Eigenschaften von Materialien zu analysieren.

  1. Fehlersuche in Bulkmaterialien mittels Ultraschall



  2. Bestimmung elektrischer Eigenschaftren mittels Wirbelstrom- und induktive Messungen



  3. Zugversuch



  4. Härtemessung: Brinell, Vickers (Nanoindenter & Picoindenter), Rockwell