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Fakultätsübergreifendes Institut für Werkstofftechnik


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Ansprechpartnerin

Univ.-Prof. Dr. Edda Rädlein

Institutsdirektorin

Telefon +49 3677 69-2802

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INHALTE

Diamantbeschichtungsanlage

Schematischer Aufbau und Standardparameter


Kernstückdes Systems ist ein Gleichstrom-Plasmagenerator, der für dieDiamantanlage an der TU Ilmenau entwickelt wurde. Das System bestehtweiterhin aus einem wassergekühlten Edelstahlreaktor, einem Pumpsystem(Drehschieberpumpe), einer entsprechendenGleichspannungsversorgungseinrichtung, Gas- und Kühlwasserzuführungensowie verschiedener Meßeinrichtungen zur Einstellung und Überwachungder Prozeßparameter und Auswertung der Experimente.

Parameter der Anlage

sdurchflußmengen Ar: 15 Nl × min-1
H2: 5 Nl × min-1
CH4: 0,25 Nl × min-1
Stromstärke 100A
elektrische Leistung 6,5kW
Reaktordruck 12,5kPa
Substratabstand

85mm

Substrattemperatur

ca. 1000°C
Substrat (111)-orientiertes Silizium
Beschichtungszeit ab eingestellten Parametern 10min