Als Zentrale Einrichtung "Betriebseinheit" der Universität stellt das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) eine Technologie-Plattform sowohl für die grundlagenorientierte, als auch für die angewandte Forschung im Bereich der Mikro- und Nanosysteme zur Verfügung. Neben dem Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano®) können alle Fachgebiete der Universität die vorhandene wissenschaftliche Infrastruktur nutzen. Darüber hinaus können Dienstleistungen gegenüber Dritten angeboten werden.

Das ZMN verfügt über eine Gesamt-Nutzfläche von etwa 2000 m², darunter ca. 680 m² Reinräume unterschiedlicher Klassen (ca. 380 m² Reinraum Klasse 10.000, 300 m² Reinraum Klasse 1.000 und im Lithographie-Bereich Klasse 100). Verschiedene Materialien werden bearbeitet, so zum Beispiel pyro- und piezoelektrische Halbleiter für die Sensorik, Polymere für Solarzellen und Transistoren, Keramiken für die Hybrid-Technik und die gesamte Silizium-Technologie für die Fluidik, Sensorik und Mikroaktorik. Eine leistungsstarke Analytik bis in die atomare Größenordnung rundet die wissenschaftliche Ausstattung ab.

Durch die räumliche Nähe der verschiedenen Fachgebiete und Forschergruppen im Feynmanbau entsteht ein intensiver wissenschaftlicher Austausch in einem kreativen Umfeld. Interdisziplinarität wird großgeschrieben!