Das ZMN verfügt über eine Gesamt-Laborfläche von mehr als 1000 m².
Davon sind ca. 680 m² Reinräume unterschiedlicher Klassen:

• ca. 380 m² Reinraum Klasse 10.000
• 300 m² Reinraum Klasse 1.000
• bzw. Klasse 100 im Lithographie-Bereich.

Außerhalb der Reinräume gibt es Einrichtungen für verschiedene Technologien, wie z.B.:

• Leiterplattenlabor zur Herstellung von durchkontaktierten Leiterplatten
• Laserlabor zur Strukturierung, Trimmung und zum Schneiden von verschiedenen Materialien
• Einbettung und Kontaktierung elektronischer Bauteile, SMD-Technologie
• zentrales Applikationslabor für den Aufbau komplexer, hochentwickelter Systeme mit teilweise biologischer Ausrichtung
• Mess- und Analysesysteme für den nanoskaligen Bereich befinden sich aus schwingungstechnischen Gründen im Basement des Gebäudes.