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< 2. Innovationsdialog

13.03.2017

IMN-Kolloquium

Im Rahmen der Kolloquien des Instituts für Mikro- und Nanotechnologien spricht am Dienstag, dem 13. Juni 2017, um 13:00 Uhr im Feynmanbau, Raum 114/115, Manuela Breiter, Zentrum für Mikro- und Nanotechologien an der TU Ilmenau, zum Thema: "Trockenätzen von Silizium am IMN - Neues und Bewährtes".