Seit über 20 Jahren laufen am Institut für Prozess- und Sensortechnik an der TU Ilmenau die Forschungen in der Nanopositionier- und Nanomesstechnik , die insbesondere innerhalb des Sonderforschungsbereiches SFB622 (2002-2013) vorangetrieben wurden. Ende Oktober 2022 wurde zum ersten Mal eine Nanopositionier- und Nanomessmaschine von der SIOS Meßtechnik GmbH für ein Industrieunternehmen gebaut und ausgeliefert.
Die Entwicklung der ersten Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM-1 erfolgte gemeinsam mit der SIOS Meßtechnik GmbH und anderen Thüringer Firmen und wurde im Jahr 2002 fertiggestellt. Die Gemeinschaftsprojekte wurden durch das Thüringer Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst gefördert.
Seitdem fertigt und vertreibt die SIOS Meßtechnik GmbH die NMM-1 an nationale metrologische Institute, Forschungseinrichtungen und Universitäten weltweit. Im Laufe der Jahre wurden durch SIOS mehrere Komponenten weiterentwickelt und an die Bedürfnisse der Kunden angepasst. Auf Grund der steigenden industriellen Anforderungen in Bezug auf Genauigkeit wird die NMM-1 nun erstmals in einem industriellen Hightech Unternehmen, BE Semiconductor Industries NV (Besi), eingesetzt.
BE Semiconductor Industries NV (Besi) entwickelt und produziert hochmoderne Montageanlagen und Ausrüstung für Leadframe-, Substrat- und Wafer-Level-Packaging-Anwendungen in einer Vielzahl von Endverbrauchermärkten, darunter Elektronik, mobiles Internet, Cloud-Server, Computer, Automobil, Industrie, LED und Solar Energie. Die Kunden von Besi sind in erster Linie führende multinationale Chiphersteller, Montagezulieferer sowie Elektronik- und Industrieunternehmen auf der ganzen Welt.
Bei Besis Die Bondern haben sich die Anforderungen in den letzten Jahren von wenigen Mikrometern in Richtung 200 nm verschoben, so dass die Beschaffung eines Referenzsystems notwendig war. Aufgestellt wurde die Nanopositionier- und Nanomessmaschinen NMM-1 im F&E-Bereich. Mit einem Messvolumen von 25 x 25 x 5 Kubikmillimetern und einer Positionierunsicherheit von unter 10 Nanometern ist die Nanomessmaschine nach wie vor die genaueste ihrer Art weltweit. Die Entwickler nutzen die NMM-1 u. a. zur Weiterentwicklung und Qualitätskontrolle ihrer hochgenauen Kamerasysteme.
Seit mehreren Jahren konzentrieren sich die Forschungsarbeiten am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik auf die nächsten Generationen von Nanomess- und Nanofabrikationsmaschinen. Die NPMM-200, ebenfalls mit SIOS-Laserinterferometern ausgestattet, arbeitet in einem größeren Messvolumen. Im Internationalen Graduiertenkolleg NanoFab forschen Nachwuchswissenschaftlerinnen und -wissenschaftler an der Entwicklung von Nanofabrikationsmaschinen. Dort beginnt im kommenden Jahr bereits die dritte Doktorandengeneration mit ihrer wissenschaftlichen Tätigkeit. Die Ausschreibungen laufen bereits.
Prof. Eberhard Manske
Leiter des Instituts für Prozessmess- und Sensortechnik