Nach Gründung der Hochschule für Elektrotechnik Ilmenau 1953:

I] 1954 - 1964: 

Institut für Chemie, Elektrochemie und Galvanotechnik, zuletzt in der Fakultät für Stark­stromtechnik. Direktor: Prof. Josef Hampel.

II] 1964 – 1968:

 Institut für Chemie in der Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und technische Grundwissenschaften. Direktor: Prof. Heinrich Arnold.

Der andere Teil des Vorgänger-Institutes verblieb in der Fakultät für Starkstromtechnik als Institut für Elektrochemie und Galvanotechnik.

III] 1968 – 1990:

 Aus den Instituten für Chemie und für Werkstoffkunde wurde eine Arbeitsgruppe Präparation (der spätere Wissenschaftsbereich Chemie/ Werkstoffe) gebildet. Zusammen mit mikroelektro­nischen Gruppen aus dem Institut für Elektronik, sowie mit den ebenfalls aufgelösten Instituten für Physik  und Lichttechnik resultierte die Sek­tion Physik und Technik elektronischer Bauelemente  (PHYTEB), eine der 6 Sektionen, die im Zuge der „3. Hochschulreform der DDR“ entstanden. Entsprechend wurde das Institut für Elektrochemie und Galvanotechnik in eine Arbeitsgruppe Elektrothermische und elektro­chemische Technik der Sektion Elektrotechnik eingegliedert.

(Für die Jahre 1968-1990 in der Sektion PHYTEB und die nachfolgende Zeit bis zum Jahr 2001 siehe auch die „Informationen zur Geschichte des Instituts für Physik“ unter http://www.tu-ilmenau.de/physik/ bezüglich der Chemie.)

IV] 1990 – 2011:

 Das ursprüngliche Institut für Chemie (siehe unter II) wurde Bestandteil des in der Fakultät für Mathematik und Naturwissenschaften wiedergebildeten Instituts für Physik, bis 1998 als Fachgebiet Physikalische Chemie unter Leitung von Prof. Arnold. Mit dessen Ruhestand und der Berufung des Nachfolgers Prof. Peter Scharff  erfolgte die Umbenennung in Fachgebiet Chemie. 2001 kam das Fachgebiet Physikalische Chemie und Mikroreaktionstechnik mit Prof. Michael Köhler hinzu.

Das ursprüngliche Institut für Elektrochemie und Galvanotechnik (siehe unter II) wurde 1990 zum Fachgebiet gleichen Namens im fakultätsübergreifenden Institut für Werkstofftechnik, und es wurde der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik zugeordnet.

Zusammen mit diesem Fachgebiet bildeten die beiden chemischen Fachgebiete des Instituts für Physik 2006 das fakultätsübergreifende Institut für Chemie, Elektrochemie und Galvano­technik mit Prof. Christine Jakob als Direktorin, ohne die Instituts- und Fakultätszugehörig­keiten zu verändern.

V] 2011

wurde das Institut für Chemie und Biotechnik in der Fakultät für Mathematik und Natur­wissenschaften aus den beiden chemischen Fachgebieten des Instituts für Physik und dem neuen, von Prof. Andreas Schober geleiteten  Fachgebiet Nanobiosystemtechnik gegründet. Direktor ist Prof. Uwe Ritter vom Fachgebiet Chemie, das er seit der Übernahme des Rekto­rats durch Prof. Scharff  2004 kommissarisch leitet.