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DFG-gefördertes Gerätezentrum
Mikro-Nano-Integration


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Ansprechpartner

Prof. Dr. Jens Müller

Telefon +49 3677 69-2606

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Ihre Position

INHALTE

Leistungen

Im Gerätezentrum können Projekte realisiert werden, die auf folgenden Technologien basieren:

  • Analytik
  • Lithographie
  • Beschichtung
  • Ätzprozesse
  • Aufbau- und Verbindungstechnik
  • Sonderprozesse (u.a. thermo-mech. Verfahren, biol.-chem. Verfahren

Einen umfangreichen Überblick bietet die technologische Plattform.

 

Es stehen folgende Geräte und Anlagen zur Verfügung: Ausrüstung/Labore

 

Das Gerätezentrum bietet Interessenten folgende Kooperationsmöglichkeiten an: zu den Kooperationsangeboten

 

Über unser Leistungsangebot können Sie sich auch auf dem Portal für Forschungsinfrastrukturen (RIsources) der DFG informieren: zu RIsources

 

Für die einfacherer Beantragung von Nutzungskosten im Rahmen von DFG-Anträgen können für die Elektronenmikroskopie die anerkannten Pauschalen der DFG angesetzt werden: zu den DFG-Gerätenutzungskosten