Dissertations from 2018

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Spieß, Lothar; Schawohl, Jens; Straßburger, Torsten; Rode, Annett
Röntgendiffraktometrische Sonderverfahren an dünnen Schichten. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 198-203

Schneider, Martin;
Beitrag zur Dünnschichtmessung mittels Tastspul-Wirbelstromverfahren. - Ilmenau, 1991. - 134 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1991


Arnold, Heinrich;
MO-CVD und Charakterisierung von ZnO-Schichten. - In: Physikalische Technologien, (1990), S. 188-189

Knedlik, Christian;
Komplexe Schichtmeß- und Analysentechnik. - In: Physikalische Technologien, (1990), S. 109-110

Scherge, Matthias; Knedlik, Christian; Breternitz, Volkmar
Simulation von Materialtransportprozessen in Leitbahn und Kontakt. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 69-71

Spieß, Lothar;
Führt die Höchstintegration der Mikroelektronik zu einer Analytikkrise?. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 133-136

Spieß, Lothar; Tvarožek, Vladimir; Novotný, I.; Gr&hacek;no, J.; Liday, Jozef; Va&hacek;nek, Oldrich
Titansilicidschichten auf Poly-Si und SiO2. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 47-50

Knedlik, Christian; Tippmann, Herbert; Hoebbel, Helmut;
Grundlagenuntersuchungen an WSi2-Schichten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 39-42

Arnold, Heinrich; Fuchs, Gerhard; Kaufmann, Thorsten
Modellierungsgrundlagen für Wachstum und Dotierung von A(III)B(V)-Schichten aus der Gasphase (MO-VPE). - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 4, S. 150-153

Kaufmann, Thorsten; Webert, Matthias; Fuchs, Gerhard; Arnold, Heinrich; Hartung, Günter; Gothe, Karl-Heinz
Kupfer in MOCVD-ZnO-Schichten - defektchemische Interpretation von Einbau und physikalischem Verhalten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 4, S. 129-132