Scherge, Matthias; Breternitz, Volkmar; Knedlik, Christian
Simulation of electromigration behaviour in Al metallization of integrated circuits. - In: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Bd. 32 (1992), 1/2, S. 21-24
http://dx.doi.org/10.1016/0026-2714(92)90083-W
Simulation of electromigration behaviour in Al metallization of integrated circuits. - In: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Bd. 32 (1992), 1/2, S. 21-24
http://dx.doi.org/10.1016/0026-2714(92)90083-W
Breternitz, Volkmar; Hoebbel, Helmut; Scherge, Matthias; Knedlik, Christian
Widerstandsmeßmethoden für Elektromigrationsuntersuchungen. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 317-322
Widerstandsmeßmethoden für Elektromigrationsuntersuchungen. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 317-322
Spieß, Lothar; Schawohl, Jens; Straßburger, Torsten; Rode, Annett
Röntgendiffraktometrische Sonderverfahren an dünnen Schichten. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 198-203
Röntgendiffraktometrische Sonderverfahren an dünnen Schichten. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 198-203
Schneider, Martin;
Beitrag zur Dünnschichtmessung mittels Tastspul-Wirbelstromverfahren. - Ilmenau, 1991. - 134 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1991
Beitrag zur Dünnschichtmessung mittels Tastspul-Wirbelstromverfahren. - Ilmenau, 1991. - 134 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1991
Arnold, Heinrich;
MO-CVD und Charakterisierung von ZnO-Schichten. - In: Physikalische Technologien, (1990), S. 188-189
MO-CVD und Charakterisierung von ZnO-Schichten. - In: Physikalische Technologien, (1990), S. 188-189
Knedlik, Christian;
Komplexe Schichtmeß- und Analysentechnik. - In: Physikalische Technologien, (1990), S. 109-110
Komplexe Schichtmeß- und Analysentechnik. - In: Physikalische Technologien, (1990), S. 109-110
Scherge, Matthias; Knedlik, Christian; Breternitz, Volkmar
Simulation von Materialtransportprozessen in Leitbahn und Kontakt. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 69-71
Simulation von Materialtransportprozessen in Leitbahn und Kontakt. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 69-71
Spieß, Lothar;
Führt die Höchstintegration der Mikroelektronik zu einer Analytikkrise?. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 133-136
Führt die Höchstintegration der Mikroelektronik zu einer Analytikkrise?. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 133-136
Spieß, Lothar; Tvarožek, Vladimir; Novotný, I.; Gr&hacek;no, J.; Liday, Jozef; Va&hacek;nek, Oldrich
Titansilicidschichten auf Poly-Si und SiO2. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 47-50
Titansilicidschichten auf Poly-Si und SiO2. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 47-50
Knedlik, Christian;
Tippmann, Herbert; Hoebbel, Helmut;
Grundlagenuntersuchungen an WSi2-Schichten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 39-42
Grundlagenuntersuchungen an WSi2-Schichten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 35 (1990), 5, S. 39-42