Conference papers from 2018

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Spieß, Lothar; Tippmann, Herbert; Nitzsche, Karl; Knedlik, Christian; Stedig, J.; Harmann, Rudolf; Tvarozek, Vladimir; Nowotny, Iwan
Herstellung und Charakterisierung von Wolfram-Silizium-Mischschichten unterschiedlicher Stöchiometrie. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 87-89

Spieß, Lothar; Lippert, Gunther
Eigenschaften von MoSi2-Schichten - hergestellt mit dem Mosaiktarget. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 83-85

Nitzsche, Karl;
Physikalische Effekte in Mikro- und Submikrometerdimensionen. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 61-66

Köthe, Gerhard;
Elektromigrationsuntersuchungen an Al- und Al/Si-Siliziumkontakten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 55-58

Kaufmann, Thorsten; Fuchs, Gerhard; Webert, Matthias
MOCVD von ZnO-Schichten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 51-53

Breternitz, Volkmar; Beier, Volker
Zu Werkstoffproblemen bei der Kontaktierung in der GaAs-Mikroelektronik. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 23-26

Arnold, Heinrich;
Zum Stand der physikochemischen Modellbildung für CVD-Prozesse. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 7-9

Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Hummel, Wolf-Joachim; Knedlik, Christian; Nitzsche, Karl; Linß, M.
Eigenschaften von Tantal-Silizium-Mischschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 6, S. 175-182

Spieß, Lothar; Tippmann, Herbert; Hegewald, Gunter; Nitzsche, Karl; Knedlik, Christian
Wolframsilicidbildung durch Temperung von Wolframschichten auf einkristallinem Silicium. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 6, S. 167-174

Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Linß, M.; Hummel, Wolf-Joachim; Knedlik, Christian; Nitzsche, Karl
Triotron-Zerstäubungsanordnung zur Herstellung von Ta/Si-Mischschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 3, S. 161-166