Sputtercluster
Forschungsgroßgerät Mehrkammer Sputteranlage
Ansprechpartner
Prof. Martin Ziegler
Fachgebiet Mikro- und nanoelektronische Systeme
Telefon: +49 3677 69-3711
e-mail:martin.ziegler@tu-ilmenau.de
Förderinformation
Projektträger: DFG
Förderkennzeichen: INST 273/95-1 FUGG
beteiligte Fachgebiete: Mikro- und nanoelektronische Systeme
Laufzeit: 06.12.2019 - 01.12.2023
Es handelt sich um ein leistungsfähiges PVD-System für Forschung und Pilot-Produktionen mit 5 unabhängigen Vakuumkammern. Die Anlage soll zur Deposition von verschiedenen magnetischen und nicht magnetischen Materialien geeignet sein, sowie für raktive Sputter-Prozesse von Oxid- und Nitrid-Schichten.