Sputtercluster

Forschungsgroßgerät Mehrkammer Sputteranlage

Ansprechpartner

Prof. Martin Ziegler
Fachgebiet Mikro- und nanoelektronische Systeme

Telefon: +49 3677 69-3711
e-mail:martin.ziegler@tu-ilmenau.de

Förderinformation

Projektträger: DFG

Förderkennzeichen: INST 273/95-1 FUGG

 

beteiligte Fachgebiete: Mikro- und nanoelektronische Systeme

Laufzeit: 06.12.2019 - 01.12.2023

Es handelt sich um ein leistungsfähiges PVD-System für Forschung und Pilot-Produktionen mit 5 unabhängigen Vakuumkammern. Die Anlage soll zur Deposition von verschiedenen magnetischen und nicht magnetischen Materialien geeignet sein, sowie für raktive Sputter-Prozesse von Oxid- und Nitrid-Schichten.