mikroRASE VIP+

MEMS-raumerfassende Radarsensorik, Teilvorhaben: SiCer-Substrate für MEMS-Radarsensoren

Ansprechpartner

Prof. Jens Müller
Fachgebiet Elektroniktechnologie


Telefon: +49 3677 69-2606
e-mail:  jens.mueller@tu-ilmenau.de

Förderinformation

Fördermittelgeber: Bundesministerium für Bildung und Forschung

Projektträger: VDE/VDE Innovation + Technik GmbH

Förderkennzeichen: 03VP09612

beteiligte Fachgebiete: Elektroniktechnologie, Mikrosystemtechnik

Laufzeit: 01.10.2022 - 30.09.2025

Projektinformation

Autonom agierende Anlagen, Flugkörper und Fahrzeuge werden wesentlich die industrielle Produktion, Logistik und Mobilität der Zukunft prägen. Um ein Höchstmaß an Sicherheit gewährleisten zu können, müssen sich solche autonomen Systeme jederzeit in ihrer Umgebung mittels raumfassender Sensorik orientieren können.

Im Projekt soll die Lücke hinsichtlich Entfernungsauflösung und Störsicherheit gegenüber Umweltbedingungen durch Kombination von hochpräziser Radar- und miniaturisierter Strahlschwenktechnologie geschlossen werden.  Um eine den optischen Systemen entsprechende Auflösung erreichen zu können, werden die klassischen mm-Wellen-Frequenzen, welche von aktuellen kommerziellen Radar-Systemen verwendet werden, verlassen und in den Bereich der Tera-Hertzanwendung gegangen (>0.1 THz). Durch diesen Schritt steht mehr Bandbreite zur Verfügung, welche essentiell für die höhere Auflösung ist. Erste Radar-Transceiver Module für diese Bereiche (122 GHz; 220 GHz) erreichen aktuell den Markt. Diese hochauflösenden Radarsensoren können durch eine schnelle rasternde Bewegung zu raumerfassender Sensorik erweitert werden. Diese mechanische Bewegung wird über eine MEMS-Antennen-Architektur erreicht, welche ähnlich auch bei LIDAR-Anwendung (dabei wäre es ein MEMS-Spiegel) zu finden ist. Diese MEMS-aktuierten Antennen werden über ein neuartiges Silizium-LTCC-Verbundsubstrat (SiCer) realisiert, das mechanische Aktoren auf Silizium und Mikrowellen-Funktionalitäten in der LTCC in besonderer Weise vereint. Ziel des Projekts MEMS-Radar ist es, die einzelnen bei den Partnern etablierten Technologiemodule (schwenkbare MEMS-Strukturen – TUI/UB, Radar-Signalauswertung – FHR, Design und Aufbau von Ultra-Hochfrequenzsystemen – TUB) für kostengünstige, miniaturisierte und raumauflösende (und damit auch bildgebende) Radar- Sensoren für relevante Marktsegmente zu kombinieren (autonomes Fahren, zivile Sicherheitsanwendung), gemeinsam zu validieren und in einen Demonstrator umzusetzen.