UV-Lithografiesystem

UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung & motorisierter Stange mit Autoalignmentfunktion

 

Ansprechpartner

Prof. Stefan Sinzinger

Fachgebiet Technische Optik

Telefon: +49 (0) 3677 69-2490
E-Mail:  stefan.sinzinger@tu-ilmenau.de

Förderinformation

Fördermittelgeber: Kofinanziert von der Europäischen Union

Projektträger: Thüringer Aufbaubank (TAB)

Förderkennzeichen: 2023FG/0011

beteiligte Fachgebiete: Technische Optik

Laufzeit: 01.11.2023 - 31.10.2025

Projektinformation

Lithografhieprozesse zur Herstellung von Prozessmakierungen aus Fotolacken (Resisten) sind qualitätsbestimmende Bestandteile von Prozessketten zur Herstellung von mikro- und nanotechnischer Funktionsstrukturen, Bauelemente und Systeme. Das UV- Litografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung & motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion ermöglicht die technologische Realisierung von 2,5- und 3-dimensionalen Mikro- und Nanostrukturen schwerpunktmäßig für die Forschungsfelder Mikrooptik, (grüne) Mikroelektronik, Mikrofluidik, Mikroaktorik, Mikrosensorik und Systemintegration.