NANOPrint

3D-Drucker für die direkte Erzeugung von Nanostrukturen aus der Gasphase

 

Ansprechpartner

Prof. Steffen Strehle
Fachgebiet Mikrosystemtechnik

Telefon: +49 3677 69-2487
e-mail:  steffen.strehle@tu-ilmenau.de

 

Förderinformation

Projektträger: vector Stiftung Stuttgart

Förderkennzeichen: P2018-0311

beteiligte Fachgebiete: Mikrosystemtechnik

Laufzeit: 01.04.2019 - 31.03.2021

Projektinformation

Ziel des Projektes ist es, ein Konzept  für einen neuartigen 3D-Drucker initial zu erforschen, mit dem verschiedene Materialien lokal und 3D-strukturiert abgeschieden werden könnten. Das Prinzip beruht auf einer Gasphasenreaktion, welche durch ein hohes elektrisches Feld ausgelöst wird. Das Feld wird hierbei mit einer anliegenden Spannung erzeugt und mit einer nanoskaligen Spitze, welche kontrolliert über das Substrat in geringem Abstand gerastert werden kann, lokalisiert. Hierdurch sollten sich zahlreiche Materaialien (Metalle, Halbleiter, Isolatoren) im Nanometerbereich 3D-strukturiert aufbringen lassen. Einsatzgebiete für diese Nano-Drucktechnik wären im Erfolgsfalle u.a. nanoskalige Halbleiterbauelemente (FETs, LEDs, Quantenpunkte, Nanodrähte), Quantenstrukturen, Plasmonik, die Erzeugung von Sicherheitsmerkmalen, die Synthese neuartiger Katalysatoren und viele weitere mehr.