SiCer Messaufnehmer

SiCer-basierte Messaufnehmer für Anwendungen in der Gassensorik

 

Ansprechpartner

Prof. Steffen Strehle
Fachgebiet Mikrosystemtechnik


Telefon: +49 3677 69-2487
e-mail:  steffen.strehle@tu-ilmenau.de

Förderinformation

Projektträger: Projektträger Jülich (PTJ)

Förderkennzeichen: 03WKDG03E

beteiligte Fachgebiete: Mikrosystemtechnik

Laufzeit: 01.09.2019 - 31.08.2022

Projektinformation

Das Teilprojekt beinhaltet die Entwicklung, technologischer Umsetzung und Evaluierung von SiCer-basierenden Sensorelementen für die Gassensorik. Konkret sollen drei prototypische Anwendungen für einen Aufbau in der Verbundsubstrattechnologie SiCer zuerst separat voneinander und danach vereint in einem Demonstrator umgesetzt werden. Die Herausforderung im Verbundprojekt liegt in der stark differierenden Spezifik der einzelnen prototypischen Anwendungen Infrarotsensor, Drucksensor und Temperatursensor begründet. In der technologischen Umsetzung des Sensorelements sind jeweils unterschiedliche Prozesse und Prozessfolgen anzuwenden, die sich ggf. gegenseitig beinflussen bzw. im Extremfall ausschließen könnten (z.B. Hochtemperaturprozesse, die durch Diffusion piezoelektrische Dehnungssensoren wegdriften lassen). 
Die TU Ilmenau nimmt aufgrund ihrer Vorarbeiten eine zentrale Rolle bei der technologischen Umsetzung der Sensorelemente auf Basis der SiCer-Prozesse ein. Ausgehend von den Spezifikationen, die von den Industriepartnern erarbeitet werden, arbeitet die TU Ilmenau in den Arbeitspaketen, die jeweils SiCer-basiert sind (Fokus: Sensorelemente). Aspekte der elektronischen Beschlatung werden durch die Partner im Konsortium abgedeckt.