Ziel des Instituts ist es,
- die interdisziplinäre Forschung auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnologien von den Grundlagen bis zur Anwendung zu intensivieren,
- den Wissenstransfer durch Forschungsprojekte gemeinsam mit wissenschaftlichen Partnern und Partnerunternehmen zu erhöhen und
- die Forschungskompetenz im eigenen Haus und bei den wissenschaftlichen Partnern kontinuierlich weiterzuentwickeln.
Zur Umsetzung der vom Institut verfolgten Ziele, steht den Mitgliedsfachgebieten das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien zur Verfügung. Mit über 300 Anlagen und Geräten auf fast 2.000 m2 Laborfläche in zwei Hochtechnologiegebäuden (Feynmanbau und Meitnerbau), ist das ZMN der infrastrukturelle Mittelpunkt des Institutes.