©Simone Gutsche/ TU Ilmenau

Workshop Lithographie

Am 8. November 2023 fand das erste Lithografie-Arbeitstreffen am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien der Technischen Universität Ilmenau statt. Die Veranstaltung vereinte 28 Teilnehmer aus Universitäten und Unternehmen aus ganz Deutschland, die ihr Fachwissen im Bereich der Lithografie teilten und vertieften.

Die Tagung begann mit einer herzlichen Begrüßung durch den Gastgeber, Prof. Peter Schaaf, Direktor des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien. In seiner Eröffnungsansprache betonte er die Bedeutung der Lithografie als Schlüsseltechnologie in der Mikro- und Nanotechnologie und unterstrich die Notwendigkeit von Zusammenarbeit und Wissensaustausch.

Das Programm des Arbeitstreffens war vielfältig und bot einen Überblick über aktuelle Entwicklungen, Herausforderungen und Innovationen in der Lithografie. Experten aus verschiedenen Institutionen präsentierten ihre neuesten Forschungsergebnisse und Erfahrungen in Bereichen wie optischer Lithografie und Elektronenstrahllithografie.

Die Teilnehmer hatten zudem ausreichend Gelegenheit, in  Diskussionsrunden konkrete Anwendungsprobleme zu erörtern und gemeinsam Lösungsansätze zu entwickeln. Diese Sessions trafen auf große Zustimmung, da sie beim Aufbau von Netzwerken zwischen den Teilnehmern half.

Ein besonderes Highlight war der Laborrundgang, bei dem die Teilnehmer Einblicke in die modernen Lithografie-Einrichtungen des Zentrums erhielten. Dies ermöglichte nicht nur einen praktischen Einblick in die Anwendung verschiedener Lithografietechnologien, sondern förderte auch den direkten Dialog zwischen Forschern und Industrievertretern.

Das Lithografie-Arbeitstreffen am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien der TU Ilmenau erwies sich somit als erfolgreiche Plattform für den intensiven Austausch von Fachwissen und die Förderung von Kooperationen zwischen Forschungseinrichtungen und Unternehmen. Die positive Resonanz der Teilnehmer sowie die fruchtbaren Diskussionen lassen auf eine Fortsetzung im kommenden Jahr hoffen.