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Workshop "Siliziumtiefenätzen"

Bereits zum 11. Mal versammelten sich 20 Teilnehmer aus Universitäten und Forschungseinrichtungen zum Workshop Siliziumtiefenätzen. In diesem Jahr zum zweiten Mal am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien der Technischen Universität Ilmenau.

Nach der offiziellen Begrüßung durch den Direktor des ZMN, Prof. Peter Schaaf, war der Tag dem intensiven Austausch zwischen den Expertinnen und Experten aus den Forschungseinrichtungen und der Industrie gewidmet.

Das Programm des Workshops bot einen breiten Überblick über die neuesten Entwicklungen und Herausforderungen im Bereich des Siliziumtiefenätzens. Die Expertenvorträge von Praktikern gaben Einblicke in innovative Methoden, Fortschritte in der Prozesstechnik und aktuelle Anwendungsgebiete. So wurden Messverfahren zur Kontrolle der geätzten tiefen Strukturen vorgestellt und die Prozessanalyse zur Optimierung und Einsparung der Prozessgasse diskutiert. Ein brennendes Thema ist die Reduzierung von Treibhausgasen. Ein Impulsvortrag rief zur gemeinsamen Forschung über die Nutzung von alternativen Ätzgasen auf.

Wie kommt man nach Ilmenau?

Ilmenau ist mit dem Zug aus Richtung Erfurt, der Landeshauptstadt im Freistaat Thüringen, recht gut zu erreichen. Von Erfurt fahren stündlich Züge, die nach ca. einer Stunde Fahrt durch die malerische hügelige Landschaft des Thüringer Beckens Ilmenau erreichen. Wer aus Richtung Saalfeld oder Schweinfurt kommt, kann bereits in Arnstadt umsteigen.

In Erfurt befindet sich auch der nächstgelegene Flughafen Erfurt-Weimar.

Mit dem Auto ist Ilmenau auf verschiedenen Wegen zu erreichen. So kreuzen sich in Ilmenau die Bundesstraßen B4 (Coburg-Ilmenau-Erfurt), B87 (Ilmenau-Weimar) und B88 (Rudolstadt-Ilmenau-Eisenach). Die nächstgelegene Autobahn ist die A71, die von Norden vom Autobahnkreuz Erfurt (A4) bis Ilmenau-Ost und Ilmenau-West führt. Von Süden stößt die Autobahn A73 aus Richtung Nürnberg am Autobahndreieck Suhl auf die von Schweinfurt kommende A71. Ab Ilmenau-Ost ist der Weg zur TU Ilmenau ausgeschildert.

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