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Ansprechpartner

Prof. Kai-Uwe Sattler

Vizepräsident für Forschung

Telefon +49 3677 69-5022

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INHALTE

Umgang mit den Folgen der Corona/COVID-19 Maßnahmen in Forschungsprojekten

Aktuelle Informationen zu den Regelungen der einzelnen Fördergeber finden Sie im Intranet des Referats FuT.

Das Referat FuT bleibt dran und informiert Sie fortlaufend. Sollten Sie neue Informationen oder Erfahrungen zum Thema haben, freuen wir uns über Ihre Nachricht an fut@tu-ilmenau.de. Danke!

Universitätsinterne Regelungen finden Sie hier:
https://www.tu-ilmenau.de/universitaet/corona-virus/informationen-fuer-beschaeftigte/

 

 

Forschung Aktuell

  • 04.06.2018 Graduiertenkolleg Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen (NanoFab)

    Die Halbleiterindustrie folgt seit nunmehr 40 Jahren mit erstaunlicher Stetigkeit dem Moore-schen Gesetz. Trotz der massiven Weiterentwicklungen, die die optische Lithographie mittlerweile erzielt hat, ist abzusehen, dass Strukturgrößen von < 20 nm mit bekannten Verfahren nur mit sehr großem Aufwand erreichbar sind. Die fundamentale Herausforderung besteht inzwischen darin, alternative Fabrikationstechnologien insbesondere für die Mikro- und Nanotechnologien zu entwickeln, die in immer größer werdenden Arbeitsbereichen von mehreren hundert Millimetern Durchmesser auf atomarer Skale messen und bearbeiten können. mehr >>

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