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Ansprechpartner

Dr. Heiko Wittwer

Referent für Wissenschaft

Telefon +49 3677 69-5022

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INHALTE

Forschungskompetenzen nach Fachgebieten

Nanotechnologie

Forschungsschwerpunkte

  • „Nanomanufacturing“ - Entwicklung von skalierbaren Prozessen zur Herstellung von heterogenen Systemen (Makro/Nano), welche traditionelle Material-und Skalierungsgrenzen auflösen
  • Herstellung und Integration von nano -und makroskopischen Funktionseinheiten (Lichtquellen, Absorber und Sensorelemente)
  • Technologieentwicklung zur Fusion von nano -und makroskopischen Funktionseinheiten unterschiedlichster Art
  • Erfinden von neuartigen skalierbaren
    • Materialabscheidungsverfahren aus der Gasphase
    • Selbstorganisationsverfahren aus der Flüssigphase
    • Nanostrukturierungsverfahren in drei Dimensionen
  • Technologieentwicklung im Bereich der Epitaxie, Strukturierung und Bauelementeprozessierung von anorganischen Halbleitern incl. Si, AlN; GaN, InN, ZnO und Graphen mit dem Ziel, eine erweiterte Integrierbarkeit zu zeigen. Ziel ist es, die Herstellung von innovativen Produkten in den Anwendungsfeldern Sensorik, Elektronik, energieeffiziente Beleuchtung, Photovoltaik und Lifescience zu ermöglichen.

Leistungsangebot

Beratungs- und Konsultationsleistungen in den genannten Kompetenzbereichen 

Epitaxie und Schichtabscheidung von Gruppe III-Nitriden und AlGaN/GaN-Heterostrukturen auf Si, SiC und Al2O3, sowie Siliziumkarbid auf Si und Graphen auf SiC

Metallisieren von PMMA Oberflächen und Bauteilen. Beschichten von Oberflächen mittels Elektronenstrahlbedampfen und Sputtern (Au, Pt, Pd, Al, Mo, Ti, Ni, Cr, Ge, Si, TiN, AlN) 

Isotropes und anisotropes Ätzen und Strukturieren von SiC, Si, III-Nitriden, Al2O3 mit fluor- und chlorbasierten Prozessen

Elektronenstrahllithografie von Bauelemente -Strukturen auf unterschiedlichen Substraten bis zu sub 10 nm Strukturen 

Oberflächenelementanalyse, Tiefenprofilierung und Nanostrukturanalyse mit Auger-Elektronenspektrsokopie (AES) mit einer Lateralauflösung bis 10 nm und Tiefenauflösung bis in den Subnanometerbereich

Strukturierung von Halbleitern für Halbleiterbauelemente, Sensoren und MEMS/NEMS 

Optische Charakterisierung mit UV-Vis und FTIR-Spektralellipsometrie, Photodeflektionsspektroskopie, Photostrom und UV-Vis Spektroskopie

Röntgenbeugung und Verspannungsanalyse

Spezialausstattung

  • Molekularstrahlepitaxie und metallorganische Gasphasenabscheidung und metallorganische Gasphasenabscheidung zur Herstellung von Gruppe III-Nitriden, Metalloxiden, SiC und Graphen basierenden Hetero- und Nanostrukturen
  • ECR (Fluor) und ICP (Chlor) Trockenätzen
  • Augerelektronenspektrometer für Elementanalyse und Tiefenprofilierung mit lateraler Auflösung bis < 10 nm
  • UV-Vis und FTIR Spektralellipsometrie, UV-Vis Spektroskopie, photothermische Deflektionsspektroskopie und spektralaufgelöste Photoleitung
  • Röntgenbeugung (HRXRD, RSM, XRR)
  • Kraftmikroskopie und SNOM
  • Elektronenstrahllithografie für Strukturen bis10 nm

weitere Ausstattung

Kontakt

Univ.-Prof. Dr. Heiko Jacobs TU Ilmenau Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Gustav-Kirchhoff-Straße 1 Kirchhoffbau, Raum 3036 98693 Ilmenau Tel. +49 3677 69-3723 Fax +49 3677 69-3709 heiko.jacobs@tu-ilmenau.de www.tu-ilmenau.de/mne_nano

Einordnung in die Forschungscluster

NanoengineeringPräzisionstechnik und PräzisionsmesstechnikTechnische und biomedizinische AssistenzsystemeAntriebs-, Energie- und UmweltsystemtechnikDigitale MedientechnologieMobilkommunikation

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