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Ansprechpartner

Dr. Heiko Wittwer

Referent für Wissenschaft

Telefon +49 3677 69-5022

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INHALTE

Forschungskompetenzen nach Fachgebieten

Mikrosystemtechnik

Forschungsschwerpunkte

  • AlN als mechanisches Material
  • Black Si / Silicium-Gras und geordnete Nanostrukturen
  • Mikro-Nano-Integration
  • Mikroaktoren (piezoelektrische, elektromagnetische und elektrostatische)
  • Mikrofluidik (Mikroventile, Mikropumpen, Mischer, Reaktoren)
  • Mikrosensoren (u. a. passive Sensoren für RFID)
  • Optische MEMS (aktive Mikrooptik)
  • Passive mikromechanische Komponenten und Mikrostrukturen

Leistungsangebot

  • Bondverfahren
  • Fotolithografie
  • Mikrostrukturierung von Silicium, Glas und Metallen
  • Plasma-Beschichtungsverfahren
  • Profilometrie
  • Nasschemische und trockenchemische Ätzprozesse
  • Statische und dynamische Simulation

Spezialausstattung

  • Bondtechniken: anodisches Bonden; Silicon Fusion Bonding (SFB); Drahtbonden
  • Fotolithografie (UV-basiert, Auflösung bis 1 µm)
  • LPCVD Hochtemperaturanlage (dotiertes) Si, SiO2, Si3N4
  • Messtechniken für mikromechanische Systeme: taktile und optische Oberflächenprofilometrie, optische Mikroskopie
  • PECVD (Niedertemperatur)
  • Plasmaätzanlagen (ICP für Si bzw. SiO2)
  • Rasterelektronenmikroskop
  • Sputter- und Bedampfungsanlagen
  • Nasschemische Prozesstechnik (KOH und diverse Metalle)

Kontakt

Univ.-Prof. Dr.-Ing. Steffen Strehle TU Ilmenau Fakultät für Maschinenbau Max-Planck-Ring 12 WB, Raum 3110 98693 Ilmenau Tel. +49 3677 69-2487 Fax +49 3677 69-1840 steffen.strehle@tu-ilmenau.de www.tu-ilmenau.de/mikrosystemtechnik

Einordnung in die Forschungscluster

NanoengineeringPräzisionstechnik und PräzisionsmesstechnikTechnische und biomedizinische AssistenzsystemeAntriebs-, Energie- und UmweltsystemtechnikDigitale MedientechnologieMobilkommunikation

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