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Ansprechpartner

Dr. Heiko Wittwer

Referent für Wissenschaft

Telefon +49 3677 69-5022

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INHALTE

Forschungskompetenzen nach Fachgebieten

Präzisionsmesstechnik

Forschungsschwerpunkte

  • Kalibriertechnik und -normale für Nanomessmaschinen
  • Lichtwellenleitergekoppelte Planspiegel- und Tripelprismeninterferometer
  • Mehrkoordinatenmesssysteme
  • Nanomess- und Nanopositioniertechnik (Leitung SFB 622)
  • Nanometrologie
  • Optische und taktile Nanoprobesysteme

Leistungsangebot

  • Entwicklung von Messsystemen für Präzisionslängen- und Winkelmessungen, Oberflächenmesstechnik
  • geometrische Vermessung von komplizierten mechanischen Bauteilen

Spezialausstattung

  • Laserinterferometer, optische und taktile Präzisionssensoren, AFM
  • Nanomessmaschine NMM-1 (Messbereich: 25 x 25 x 5 mm³; Auslösung: 0,1 nm; Messunsicherheit 5-10 nm; k=2)
  • Präzisions-Autokollimationssystem
  • Zygo-Fizeau-Interferometer

Kontakt

Prof. Dr. Eberhard Manske TU Ilmenau Fakultät für Maschinenbau Gustav-Kirchhoff-Straße 1 Kirchoffbau, Raum 2004 98693 Ilmenau Tel. +49 3677 69-5050 Fax +49 3677 69-5052 eberhard.manske@tu-ilmenau.de www.tu-ilmenau.de/sfb622

Einordnung in die Forschungscluster

NanoengineeringPräzisionstechnik und PräzisionsmesstechnikTechnische und biomedizinische AssistenzsystemeAntriebs-, Energie- und UmweltsystemtechnikDigitale MedientechnologieMobilkommunikation

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