http://www.tu-ilmenau.de

Logo TU Ilmenau


Ansprechpartner

Prof. Dr. sc. techn. Beat Brüderlin

Fachgebietsleiter

Telefon +49 3677 694119

E-Mail senden

Ihre Position

INHALTE

Sonderforschungsbereich 622 "Nanopositionier- und Nanomessmaschienen"

Teilprojekt C2 "Sensornahe Messdatenerfassung und -verarbeitung"

Die Nanotechnologie ermöglicht es, in bislang unerreichte Dimensionen der Miniaturisierung vorzudringen und eröffnet dadurch Wege zu völlig neuen Produkten mit völlig neuen Eigenschaften, zur rasanten Weiterentwicklung der Mikro- und Nanoelektronik oder zur Lösung hochaktueller Probleme der Bio- und Gentechnik.

Von besonderer Bedeutung für die Entwicklung der Nanotechnologien sind die Nanopositionier- und Nanomesstechnik, welche die Positionierung, Messung, Antastung, Bearbeitung und Manipulation von Objekten mit Nanometerpräzision ermöglichen. Derartige Messtechnik ist unverzichtbar in solchen Gebieten, wie der Mikroelektronik, der Nanoelektronik, der Mikromechanik, der Optik, der Präzisionstechnik, der Molekularbiologie, der Werkstoffforschung und der Metrologie.

Seit 1996 wird in einer Forschergruppe unter Leitung von Prof. Jäger (TU-Ilmenau) an der Entwicklung von Nanopositionier- und Nanomessverfahren gearbeitet. Als erstes Ergebnis entstand eine Nanopositionier und –messmaschine (NPMM), welche ein Messvolumen von 25mm x 25mm x 5mm und eine Positionierauflösung von 0,1 nm umsetzen kann. Aus dieser Entwicklung heraus und der Einbeziehung der Besonderheiten der Nanomesstechnik ergeben sich neue Anforderungen an die Bild- und Signalverarbeitung.

Das Fachgebiet Graphische Datenverarbeitung (Forschungsgruppe Dr. K.H. Franke) war im SFB 622 mit umfassenden Beiträgen

  • zur Untersuchung aller Einflüsse bezüglich der Antastung des Messobjektes und der resultierenden Konsequenzen
  • zu Methoden der Messdatenrekonstruktion und Messdatenreduktion
  • zu Mess- und Positionierstrategien (Orientierung im Messvolumen)
  • zur Segmentierung von Strukturkomponenten und Oberflächenbereichen

beteiligt.

Nanomessmaschine der TU-Ilmenau (Institut PMS)

Titanstruktur 1,2 x 1,2 µm2 zur Bewertung und Rekonstruktion von AFM-Spitzen

CD-AFM-Tip für Atomkraftmikroskope (links) zur Vermessung von Sidewalls (rechts)