INHALTE
Ultrasensitive Magnetfeldsensorik mit resonanten magneto-elektrischen MEMS - MagSens
Beteiligte Fachgebiete und Institute:
Fachgebiet Theoretische Elektrotechnik (TET)
Fachgebiet Technische Physik I (TP 1)
Fachgebiet Werkstoffe der Elektrotechnik (WET)
Institut für Mikroelektronik und mechatronische Systeme (IMMS GmbH)
Industriebeirat:
avateramedical Mechatronics GmbH, Ilmenau
5microns GmbH, Ilmenau
JENA-GEOS®-Ingenieurbüro GmbH, Jena
Kompass – Pioneering Sensor Solutions GmbH, Ilmenau
Melexis Microelectronic Integrated Systems, Erfurt
X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt