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Prof. Töpfer

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INHALTE

Ankündigung: 4. Statusworkshop am 27. September 2019

9:00 Uhr

Feynmanbau Raum 114/115

3. Statusworkshop am 18. März 2019

Der 3. Statusworkshop der Forschergruppe Ultrasensitive Magnetfeldsensorik mit resonanten magneto-elektrischen MEMS (MagSens) fand am 18. März 2019 im Meitnerbau 1.1.101-103 statt.

Programm:

13:00 Uhr Begrüßung
13:15 UhrJenny Klaus: Modellierung und Simulationen zur
Ermittlung geeigneter Magnetfeld-Sensor-Geometrien
13:35 Uhr Melanie Schiemer: Herstellung und Charakterisierung
gesputterter ScAlN-Schichten
13:55 Uhr Katja Tonisch: Spektroskopische Untersuchungen an
ScAlN
14:15 Uhr Kaffeepause
14:35 Uhr Konrad Jaekel: Strukturierung von MEMS -
plasmabasiertes Trockenätzen von ScAlN und Platin
14:55 Uhr Maximilian Krey: Design eines Messplatzes zur
Generierung des Testmagnetfeldes
15:15 Uhr Bernd Hähnlein: Automatisierung der Auswertung von
Frequenzspektren
15:30 Uhr

Diskussion offener Fragen

2. Statusworkshop

Der 2. Statusworkshop der Forschergruppe Ultrasensitive Magnetfeldsensorik mit resonanten magneto-elektrischen MEMS (MagSens) fand am 14. September 2018 im Meitnerbau 1.1.101-103 statt.

Auftaktworkshop

Der Auftakt-Workshop der Forschergruppe MagSens zum Thema „Ultrasensitive Magnetfeldsensorik mit resonanten magnetoelektrischen MEMS“ fand am 26.02.2018 in der Zeit von 9:00 Uhr – 13:00 Uhr in den Konferenzräumen des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (TU Ilmenau, Feynmanbau R114/115) statt.

Der Workshop gliederte sich in zwei Teile gliedern: im ersten Teil wurden die Forschergruppe selbst, die aktuellen und die geplanten Tätigkeiten vorgestellt. In einem zweiten Teil wurde nach einer kurzen Pause neben der offiziellen Gründung des Industriebeirates auch Gelegenheit zur Diskussion und zur Klärung offener Fragen gegeben.

Insgesamt ergab sich hier die Gelegenheit, gemeinsam mit Vertretern des Industriebeirates und der Thüringer Aufbaubank, die aktuellen und geplanten Aktivitäten zu besprechen und zu koordinieren.