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Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®



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Ansprechpartner

Dr. Arne Albrecht

Laborleiter

Telefon +49 3677 69-3426

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INHALTE

Gerätezentrum

Seit 2013 ist das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien als Gerätezentrum der DFG gefördert. 

Mit dem DFG-geförderten Gerätezentrum "Mikro-Nano-Integration" wird Interessenten ein noch besserer Zugang zu technologisch hochwertiger Spezialausstattung zur Verfügung gestellt. Externen Partnern und Interessenten werden diverse Kooperationsmöglichkeiten ermöglicht und Unterstützung bei Projekten gewährt. So kann eine optimale Betreuung von Unternehmen sowie wissenschaftlichen Einrichtungen gewährleistet werden.

Gestellt werden eine umfangreiche technologische Plattform und Spezialausstattung für: 

  • Silizium MEMS/NEMS-Technologien, optische Lithographie
  • Nanostrukturierung (singulär und 3D)
  • Elektronenstrahl Lithographie
  • Epitaxie und Strukturierung von Verbindungshalbleitern
  • Polymer Prozesstechnologie
  • Leiterplattentechnologie
  • LTCC-Hybridtechnologie
  • Oberflächenanalytik
  • elektrische, optische und strukturelle Charakterisierung dünner Filme

Um Labore und Geräte zu buchen, erhalten sie zunächst Informationen über das technische Equipment und Kompetenzen des technologischen Zentrums und schließlich ein verbindliches Kostenangebot, das mögliche Förder- und Subventionsmaßnahmen berücksichtigt.