Den Mitgliedern des IMN MacroNano^® sowie externen Nutzern stehen im Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien in den beiden Technologiegebäuden Meitnerbau und Feynmanbau insgesamt mehr als 1800m² modern ausgestattete Laborfläche als Reinräume und als staubkontrollierte Speziallabore zur Verfügung. Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologie ist eine zentrale Betriebseinheit und gehört zu den Technologischen Zentren der TU Ilmenau.

Reinräume:

• 50m² Reinraumklasse 5 (nach DIN EN ISO 14644)
• 250m² Reinraumklasse 6 (nach DIN EN ISO 14644)
• 880m² Reinraumklasse 7 (nach DIN EN ISO 14644)

 Staubkontrollierte Speziallabore: 

• Biologische Labore mit der Schutzklasse 1
• Analytische Labore (teilweise störminimiert)
• Labore für Laser- und Ultrapräzisionsbearbeitung
• Labore für Leiterplattenfertigung und elektrochemische Prozesse