INHALTE
Technologiezentrum
Den Mitgliedern des IMN MacroNano® sowie externen Nutzern stehen im Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien in den beiden Technologiegebäuden Meitnerbau und Feynmanbau insgesamt mehr als 1800m² modern ausgestattete Laborfläche als Reinräume und als staubkontrollierte Speziallabore zur Verfügung. Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologie ist eine zentrale Betriebseinheit und gehört zu den Technologischen Zentren der TU Ilmenau.
Reinräume:
- 50m² Reinraumklasse 5 (nach DIN EN ISO 14644)
- 250m² Reinraumklasse 6 (nach DIN EN ISO 14644)
- 880m² Reinraumklasse 7 (nach DIN EN ISO 14644)
Staubkontrollierte Speziallabore:
- Biologische Labore mit der Schutzklasse 1
- Analytische Labore (teilweise störminimiert)
- Labore für Laser- und Ultrapräzisionsbearbeitung
- Labore für Leiterplattenfertigung und elektrochemische Prozesse