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Ansprechpartner

Prof. Dr. Stefan Sinzinger

Institutsdirektor

Telefon +49 3677 69-3402

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INHALTE

Labor Optische und E-Beam Lithografie

Maskaligner
  • Doppelseiten-Maskaligner MA8e (Süss)
  • Doppelseiten-Maskaligner AL6-2 (EVG)
  • Doppelseiten-Maskaligner EV420 (EVG)
  • Halbautomatischer Spincoater CEE CB100 (Brewer Science)
  • Spraydeveloper Delta 20 (BLE)
  • Sprühbelacker EVG101
  • E-Beam Lithographie System (Raith 150)
  • Spincoater für PMMA (SSE)
  • Spraycoater (EV101-EVG)
  • Sprühprozessor (OptiWet 30 - ATMsse)



     Kontakt: David Venier
     Telefon: +49 3677 693410

     Kontakt: Jutta Uziel
     Telefon: +49 3677 693424