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Ansprechpartner

Prof. Dr. Stefan Sinzinger

Institutsdirektor

Telefon +49 3677 69-3402

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INHALTE

Nasschemisches Ätzen

Nassätzbank
  • Quick dump rinser
  • Rinser dryer (Semitool)
  • Nassätzbank für diverse chemische Reinigungs- und Ätzprozesse (Kufner), für Metalle, Metalloxide, Silizium, SiO2, Si3N4...
  • Ultraschallreinigung
  • Temperierbares Rührgerät
  • Kryostat



     Kontakt: Birgitt Hartmann
     Telefon: +49 3677 693371