http://www.tu-ilmenau.de

Logo TU Ilmenau



Foto des Ansprechpartners
Ansprechpartner

Prof. Dr. Stefan Sinzinger

Institutsdirektor

Telefon +49 3677 69-3402

E-Mail senden


INHALTE

Schichtmeßtechnik

Ellipsometer
  • Optisches Oberflächenprofilometer Friess (FRT150)
  • Degradations- und Widerstandsmessplatz (Süss)
  • Diverse Mikroskope
  • Ellipsometer (SE400-CER500 - Sentech)
  • Schichtspannungsmessplatz (TENCOR)
  • Taktiles Oberflächenprofilometer (Dektak 150 - Veeco)



     Kontakt: Lothar Dressler
     Telefon: +49 3677 693423