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30.11.2016

Carl‐Zeiss‐Stiftung fördert Hochpräzisionstechnologie-Forschung der TU Ilmenau mit einer Million Euro

Foto: © TU Ilmenau

Die Technische Universität Ilmenau erforscht in den kommenden Jahren Technologien, die in den Präzisionsfertigungstechnologien innovative technische Lösungen im Sub-Nanometerbereich ermöglichen werden. Das Forschungsprojekt „Neue Metrologische Basis höchster Präzision (MetroBase)“ wird die Genauigkeit von Hochpräzisionsmaschinen um ein Vielfaches verbessern. Für die Forschungsarbeiten erhält das Ilmenauer Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen von der CarlZeissStiftung eine Förderung von einer Millionen Euro für vier Jahre.

Das MetroBase-Projekt wird die sogenannte Frequenzkammtechnologie an der TU Ilmenau etablieren und damit der jahrelangen Forschung auf dem Gebiet von Hochpräzisionsmaschinen einen Innovationsschub geben. Die Frequenzkammtechnologie wurde erst 1998 am Max-Planck-Institut für Quantenoptik in Garching erforscht, für die Entwicklung der Messeinrichtung erhielt Prof. Theodor W. Hänsch 2005 den Nobelpreis für Physik. Mit dem Gerät kann die Frequenz einer elektromagnetischen Strahlung, unter anderem auch von Licht, extrem präzise gemessen werden. Der Name Frequenzkamm rührt daher, dass das Messgerät nicht nur mit einer einzigen Frequenz arbeitet, sondern mit mehreren scharfen Linien im sichtbaren Bereich, ähnlich den Zinken eines Kamms. Die im Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen an der TU Ilmenau entwickelten Geräte gehören bereits seit Jahren zu den präzisesten der Welt. Die Kombination von Frequenzkammtechnologie und Nanopositionier- und Nanomesstechnik wird ihre Präzision abermals steigern. Sie stellt eine direkte und permanente Verbindung zwischen Laserfrequenz und Atomuhr her. So wird die derzeit noch auftretende Frequenzunsicherheit der in den Maschinen verwendeten Laser um drei Größenordnungen verbessert.

Dieser Forschungsansatz, wie ihn die Ilmenauer Professoren Eberhard Manske, Thomas Fröhlich und Roland Füßl nun angehen, ist weltweit neuartig und bietet für das nächste Jahrzehnt ein enormes Forschungspotential, um grundlegende wissenschaftliche Fragestellungen der Physik voranzutreiben. Die Präzisionspositionier- und -messtechnik lässt für die kommenden Jahre bedeutende Sprünge bei Anwendungen im Bereich der Präzisionsfertigungstechnologien erwarten. In der Halbleiterindustrie steigen die Genauigkeitsanforderungen jedes Jahr um bis zu zehn Prozent und auch die Mikro- und Nanotechnologien und die rasant wachsende Präzisionsoptik werden von den Ergebnissen des MetroBase-Projekts profitieren.

Kontakt:
Prof. Eberhard Manske
Leiter Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
Tel.: 03677 69-1250
E-Mail: eberhard.manske@tu-ilmenau.de